1.本發(fā)明涉及硅片制作技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，本發(fā)明涉及一種單晶硅片分選機(jī)及其使用方法。

背景技術(shù)：

2.單晶硅是硅的單晶體，是一種具有基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的晶體，其不同的方向具有不同的性質(zhì)，是一種良好的半導(dǎo)材料。而它常用于制造半導(dǎo)體器件、太陽能電池等，單晶硅是用高純度的多晶硅在單晶爐內(nèi)拉制而成的，而單晶硅片在各個(gè)領(lǐng)域都有著非常大的發(fā)展價(jià)值。單晶硅片從上游原材料到中游制造到應(yīng)用主要分為直拉、區(qū)熔、破方規(guī)、線鋸等步驟。首先將多晶硅原料在加入氬氣等特氣環(huán)境的條件下，通過直拉或者區(qū)熔的方法獲得單晶硅晶棒，然后通過單晶硅拉晶爐等設(shè)備再經(jīng)過破方規(guī)形成方錠。再通過線切、研磨、刻蝕、拋光等流程最后得到光伏級(jí)單晶硅片和半導(dǎo)體級(jí)單晶硅片。對于單晶硅片，又可進(jìn)一步精密加工成太陽能單晶硅電池片、功能性電子元器件、機(jī)械器件、集成電路等多種下游材料，最后被廣泛應(yīng)用于風(fēng)力發(fā)電、新能源汽車、醫(yī)療器械、航空航天、計(jì)算機(jī)、智能制造及光伏行業(yè)等。

3.此外，由于單晶硅片的尺寸大小直接決定了半導(dǎo)體應(yīng)用中芯片的成本，硅片尺寸越大，將來在制成的每塊晶圓上就能切割出更多的芯片，單位芯片的成本也就更低，因此大尺寸單晶硅的發(fā)展的趨勢。由于大尺寸硅片具有更大的可以刻蝕面積，更加符合集成電路芯片制造需求以及太陽能電池的蓄電能力的需求，現(xiàn)有技術(shù)中逐漸對大尺寸硅片的制備產(chǎn)生了技術(shù)聚集。

4.現(xiàn)有技術(shù)中，大尺寸硅片的制備或切割技術(shù)，長采用砂漿線切割或金剛線切割，如中國專利cn113119328a公開了一種大尺寸硅片切割方法，其先將硅棒粘接在固定基座上；再在所述硅棒表面粘接至少一組引導(dǎo)條；再用金剛石線鋸將帶有所述引導(dǎo)條的所述硅棒切割成硅片；其中，所述引導(dǎo)條位于所述硅棒遠(yuǎn)離所述固定基座一側(cè)的底面設(shè)置，所述引導(dǎo)條與所述固定基座對位設(shè)置且與所述金剛石線鋸垂直設(shè)置；所述引導(dǎo)條位于所述硅棒靠近所述金剛石線鋸一側(cè)底面或側(cè)面設(shè)置。該現(xiàn)有技術(shù)提供的切割方法，粘棒時(shí)在硅棒底面或側(cè)面粘接磁引導(dǎo)條，引導(dǎo)條被切割分離后，切割后每個(gè)獨(dú)立的單體引導(dǎo)條的磁極發(fā)生變化，成為兩兩互斥的個(gè)體，硅片在這種互斥力的作用下，相鄰硅片之間自然張開，進(jìn)而有利于冷卻液進(jìn)入，使硅粉排除，減少硅片翹曲和劃痕；提高硅片的鋸切速度。并且現(xiàn)有技術(shù)中提供了如何進(jìn)行大尺寸硅片切割后的分選設(shè)備的技術(shù)方案，如中國實(shí)用新型cn215680616u提供了一種可檢測166mm硅片的hennecke6s分選機(jī)，包括檢測裝置和控制裝置；檢測裝置包括整形裝置和tam檢測裝置，整形裝置包括傳送帶，整形位沿傳送帶向外擴(kuò)展至可供166mm硅片通過，tam檢測裝置的硅片輸入口向外擴(kuò)展至可供166mm硅片通過；控制裝置包含大尺寸硅片檢測的控制模塊。

5.但是現(xiàn)有技術(shù)中的大尺寸硅片tam組并沒有提供如何提高大尺寸大晶硅片切割制備完成后，如何提高分選效率的相關(guān)技術(shù)，大尺寸硅片tam模組為了提升檢測效率，其在進(jìn)

行使用時(shí)，整體檢測效率較快，而有些硅片在傳輸檢測的同時(shí)，由于光源檢測組件沒有充分的讀取硅片的實(shí)時(shí)信息，就將其扔進(jìn)報(bào)廢區(qū)，進(jìn)而導(dǎo)致設(shè)備的檢測效率較差，且增加了單晶硅片的制作成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

6.為了克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本發(fā)明的實(shí)施例提供一種單晶硅片分選機(jī)及其使用方法，通過第二錐形齒輪與第一錐形齒輪分別在定位螺紋桿和連接桿上時(shí)有限位環(huán)限位的，則兩個(gè)齒輪不會(huì)移動(dòng)，則第二錐形齒輪帶著定位螺紋桿同步旋轉(zhuǎn)，定位螺紋桿與定位壓桿嚙合，則定位壓桿通過嚙合的旋轉(zhuǎn)摩擦力向二次檢測卡槽架的中央移動(dòng)，定位壓桿帶著輔助推塊推動(dòng)硅片在二次檢測卡槽架的擦板上擦拭，且由于不合格硅片是一組一組被運(yùn)輸至二次檢測區(qū)域以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

7.為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種單晶硅片分選機(jī)，包括設(shè)備主體和固定連接在設(shè)備主體上表面的滑道塊，所述設(shè)備主體的一側(cè)設(shè)置有分片機(jī)構(gòu)，所述滑道塊的內(nèi)腔滑動(dòng)連接有封閉塊，所述封閉塊的底端固定連接有氣泵，所述設(shè)備主體的頂端固定連接有電機(jī)安裝架，所述電機(jī)安裝架的內(nèi)部通過滑腔轉(zhuǎn)動(dòng)連接有傳輸皮帶，所述電機(jī)安裝架的一端電性連接有電機(jī)，所述設(shè)備主體的上表面固定安裝有定位滑塊；所述設(shè)備主體遠(yuǎn)離滑道塊的一端通過液壓桿固定連接有定位傳輸機(jī)構(gòu)，所述定位傳輸機(jī)構(gòu)的兩側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)輪傳輸機(jī)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)輪傳輸機(jī)構(gòu)分為第二轉(zhuǎn)輪與第二轉(zhuǎn)帶，所述定位傳輸機(jī)構(gòu)的一側(cè)固定連接有半圓式支撐架，所述半圓式支撐架的另一端固定安裝在定位滑塊的底端，所述定位傳輸機(jī)構(gòu)通過固定安裝在定位傳輸機(jī)構(gòu)底端的液壓桿呈偏轉(zhuǎn)狀態(tài)設(shè)置，所述定位傳輸機(jī)構(gòu)的一側(cè)固定連接有制動(dòng)滑桿，所述制動(dòng)滑桿的底端固定連接有制動(dòng)滑塊，所述制動(dòng)滑塊的底端設(shè)置有輔助彈簧，所述制動(dòng)滑塊位于輔助彈簧的同一側(cè)固定連接有傳輸定位帶，所述傳輸定位帶和輔助彈簧呈錯(cuò)位安裝狀態(tài)；所述設(shè)備主體遠(yuǎn)離滑道塊的一側(cè)固定連接有二次檢測卡槽架，所述二次檢測卡槽架的一側(cè)開設(shè)有滑軌道，所述二次檢測卡槽架通過滑軌道滑動(dòng)連接有輔助推塊，所述滑軌道的內(nèi)壁固定連接有擦板，所述二次檢測卡槽架呈“t字形”通道，所訴二次檢測卡槽架的內(nèi)腔滑動(dòng)連接有活動(dòng)推桿，所述活動(dòng)推桿的一側(cè)設(shè)置有氣囊柱，所述氣囊柱分為伸縮氣桿與氣囊，所述氣囊固定安裝在二次檢測卡槽架的內(nèi)壁，所述伸縮氣桿固定安裝在定位傳輸機(jī)構(gòu)的底端。

8.進(jìn)一步地，所述傳輸皮帶的外表面通過螺栓連接有硅片固定架，所述硅片固定架的一側(cè)開設(shè)有貫穿式的卡槽，所述硅片固定架的一側(cè)通過卡槽滑動(dòng)連接有硅片限位架，所述硅片限位架貫穿于硅片固定架的一側(cè)固定安裝有限位調(diào)整架，所述限位調(diào)整架的兩側(cè)通過螺栓連接有螺栓固定桿，所述硅片限位架通過限位調(diào)整架和螺栓固定桿在硅片固定架的表面呈滑行狀態(tài)設(shè)置。

9.進(jìn)一步地，所述封閉塊的內(nèi)部滑動(dòng)連接有輔助伸縮桿，所述輔助伸縮桿的外表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有吹風(fēng)機(jī)構(gòu)，所述吹風(fēng)機(jī)構(gòu)的外表面固定連接有多組圓環(huán)卡位板，多組所述圓環(huán)卡位板的一側(cè)固定連接有相應(yīng)數(shù)量的傳氣管。

10.進(jìn)一步地，多組所述傳氣管通過氣管相連，所述傳氣管的頂端通過螺栓連接有橡膠卡扣，所述橡膠卡扣的一側(cè)開設(shè)有輔助插槽，所述橡膠卡扣的一側(cè)通過輔助插槽插接有

橡膠調(diào)整架，所述橡膠調(diào)整架的內(nèi)壁之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有圓球式傳氣架。

11.進(jìn)一步地，所述定位滑塊的外表面滑動(dòng)連接有契合插板架，所述契合插板架的中央轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺紋定位桿，所述螺紋定位桿穿過契合插板架的一端固定連接有檢測組件，所述檢測組件的兩側(cè)固定連接有插桿，所述插桿固定連接在契合插板架的底端。

12.進(jìn)一步地，所述檢測組件的底端設(shè)置有圖像檢測組件，所述檢測組件的兩側(cè)開設(shè)有定位槽，所述檢測組件的兩側(cè)通過定位槽滑動(dòng)連接有“l(fā)字形”桿。

13.進(jìn)一步地，所述“l(fā)字形”桿的底端固定連接有彈簧桿，所述彈簧桿的底端固定連接有氣囊管，所述氣囊管的一端插接有吹氣架，所述吹氣架正對于檢測組件的底端，所述定位滑塊的表面開設(shè)有用于吹氣架滑行的軌道，所述氣囊管與吹氣架和彈簧桿的連接處設(shè)置有橡膠套。

14.進(jìn)一步地，所述定位滑塊的兩側(cè)固定連接有兩組固定卡塊，一組所述固定卡塊的一端固定連接有電機(jī)，所述兩組固定卡塊之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩組輔助轉(zhuǎn)輪塊，兩組所述輔助轉(zhuǎn)輪塊之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有卡位轉(zhuǎn)桿，所述卡位轉(zhuǎn)桿的中央通過螺栓連接有螺栓固定架，所述螺栓固定架朝向傳輸皮帶的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺紋調(diào)整桿，所述螺紋調(diào)整桿的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有檢測推塊，所述檢測推塊的兩側(cè)固定連接有契合卡位架，所述契合卡位架固定連接在定位滑塊的另一側(cè)。

15.進(jìn)一步地，所述制動(dòng)滑塊的一側(cè)通過固定安裝板安裝在二次檢測卡槽架的一側(cè)，所述傳輸定位帶的外側(cè)繞接有第一錐形齒輪，所述第一錐形齒輪的內(nèi)腔轉(zhuǎn)動(dòng)連接有卡位輔助桿，卡位輔助桿固定安裝在設(shè)備主體的一側(cè)，所述二次檢測卡槽架的一側(cè)固定連接有定位螺紋桿，所述定位螺紋桿的外表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二錐形齒輪，所述第二錐形齒輪和第一錐形齒輪呈嚙合狀態(tài)設(shè)置，所述定位螺紋桿的外表面滑動(dòng)連接有定位壓桿，所述定位壓桿固定安裝在輔助推塊的一側(cè)。

16.本發(fā)明還提供一種采用如上所述的單晶硅片分選機(jī)的使用方法，包括以下步驟：s1：根據(jù)硅片的大小與種類不同，硅片限位架在硅片固定架上可以滑動(dòng)以及拆裝，增大或者縮小硅片放置間距；s2：機(jī)械手抓取硅片之前，氣泵通過封閉塊傳輸至輔助伸縮桿，致使輔助伸縮桿呈由下至上的狀態(tài)移動(dòng)，其為了較好的借助吹力有遠(yuǎn)至今將硅片吹起一段距離，接著機(jī)械手將硅片放置在傳輸皮帶上，完成運(yùn)輸；s3：硅片移動(dòng)至檢測區(qū)域時(shí)，圖像檢測組件采集下方硅片的厚度、寬度和折損狀況，同時(shí)檢測推塊會(huì)對硅片的兩側(cè)進(jìn)行擠壓，對硅片的彎折力進(jìn)行測試，完成對硅片的質(zhì)量檢測；s4：若硅片質(zhì)量合格，則硅片通過轉(zhuǎn)輪傳輸機(jī)構(gòu)傳遞至合格收集區(qū)，若硅片不合格，則通過控制組件對定位傳輸機(jī)構(gòu)的氣泵控制，將硅片收集至二次檢測區(qū)域，便于后期快速質(zhì)量再次檢測。

17.本發(fā)明的技術(shù)效果和優(yōu)點(diǎn)。

18.本發(fā)明提供的單晶硅片分選機(jī)中第二錐形齒輪與第一錐形齒輪分別在定位螺紋桿和連接桿上時(shí)有限位環(huán)限位的，則兩個(gè)齒輪不會(huì)移動(dòng)，則第二錐形齒輪帶著定位螺紋桿同步旋轉(zhuǎn)，定位螺紋桿與定位壓桿嚙合，則定位壓桿通過嚙合的旋轉(zhuǎn)摩擦力向二次檢測卡槽架的中央移動(dòng)，定位壓桿帶著輔助推塊推動(dòng)硅片在二次檢測卡槽架的擦板上擦拭，且由

于不合格硅片是一組一組被運(yùn)輸至二次檢測區(qū)域，則避免了硅片堆積而較難分離，同時(shí)減少后期檢測誤差，減少了檢測成本與提高檢測效率。

19.本發(fā)明提供的單晶硅片分選機(jī)中檢測推塊會(huì)對硅片的兩側(cè)進(jìn)行擠壓，對硅片的彎折力進(jìn)行測試，而根據(jù)不同的彎折力測試要求，工作人員手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)螺紋調(diào)整桿，螺紋調(diào)整桿通過與契合卡位架的螺紋連接，調(diào)整檢測推塊與硅片的遠(yuǎn)近，其同樣代表調(diào)整了對硅片的壓力，從而便于滿足不同要求對硅片進(jìn)行檢測。

20.本發(fā)明提供的單晶硅片分選機(jī)中硅片限位架與硅片固定架可以直接拆除，若硅片體積過大，過多的硅片固定架會(huì)影響硅片分選后的檢測時(shí)間，時(shí)間過短，檢測系統(tǒng)無法做出有效判斷，拆除兩兩之間的硅片固定架，不僅調(diào)整了硅片之間的安裝間距，且不用調(diào)整間隙，同時(shí)增加了硅片安裝的穩(wěn)定性，硅片限位架在硅片固定架上可以滑動(dòng)，則對于不同種類的硅片，適應(yīng)其寬度，節(jié)省了硅片的安裝成本。

21.本發(fā)明提供的單晶硅片分選機(jī)中由于橡膠卡扣將橡膠調(diào)整架和圓球式傳氣架與傳氣管緊密固定，且由于橡膠調(diào)整架的組成材料為橡膠，具有可塑性，則圓球式傳氣架呈球狀，被橡膠調(diào)整架包裹，則圓球式傳氣架可在橡膠調(diào)整架包裹下滾動(dòng)，調(diào)整不同范圍性的吹氣方向，同時(shí)傳氣管為多組，吹氣形成吹氣區(qū)域，擴(kuò)大了單次吹氣范圍，更加便于將硅片分離。

附圖說明

22.圖1為本發(fā)明設(shè)備主體的結(jié)構(gòu)示意圖。

23.圖2為本發(fā)明圖1的a部結(jié)構(gòu)放大圖。

24.圖3為本發(fā)明硅片限位架的結(jié)構(gòu)示意圖。

25.圖4為本發(fā)明滑道塊的結(jié)構(gòu)示意圖。

26.圖5為本發(fā)明圖4的b部結(jié)構(gòu)放大圖。

27.圖6為本發(fā)明檢測組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

28.圖7為本發(fā)明圖6的c部結(jié)構(gòu)放大圖。

29.圖8為本發(fā)明契合卡位架的結(jié)構(gòu)示意圖。

30.圖9為本發(fā)明二次檢測卡槽架的結(jié)構(gòu)示意圖。

31.圖10為本發(fā)明圖9的d部結(jié)構(gòu)放大圖。

32.圖11為本發(fā)明傳輸定位帶的結(jié)構(gòu)示意圖。

33.附圖標(biāo)記為：1、設(shè)備主體；2、滑道塊；3、傳輸皮帶；4、硅片固定架；5、定位滑塊；6、固定卡塊；7、電機(jī)安裝架；8、硅片限位架；9、限位調(diào)整架；10、螺栓固定桿；11、輔助轉(zhuǎn)輪塊；12、卡位轉(zhuǎn)桿；13、螺栓固定架；14、螺紋調(diào)整桿；15、契合卡位架；16、檢測推塊；17、封閉塊；18、輔助伸縮桿；19、吹風(fēng)機(jī)構(gòu)；20、圓環(huán)卡位板；21、傳氣管；22、契合插板架；23、螺紋定位桿；24、檢測組件；25、“l(fā)字形”桿；26、彈簧桿；27、氣囊管；28、吹氣架；29、橡膠卡扣；30、圓球式傳氣架；31、橡膠調(diào)整架；32、定位傳輸機(jī)構(gòu)；33、轉(zhuǎn)輪傳輸機(jī)構(gòu)；34、半圓式支撐架；35、二次檢測卡槽架；36、活動(dòng)推桿；37、輔助推塊；38、定位壓桿；39、定位螺紋桿；40、制動(dòng)滑桿；41、制動(dòng)滑塊；42、傳輸定位帶；43、第一錐形齒輪；44、第二錐形齒輪。

具體實(shí)施方式

34.下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

35.實(shí)施例1。

36.參照圖1-5，一種單晶硅片分選機(jī)，包括設(shè)備主體1和固定連接在設(shè)備主體1上表面的滑道塊2，設(shè)備主體1的一側(cè)設(shè)置有分片機(jī)構(gòu)，滑道塊2的內(nèi)腔滑動(dòng)連接有封閉塊17，封閉塊17的底端固定連接有氣泵，設(shè)備主體1的頂端固定連接有電機(jī)安裝架7，電機(jī)安裝架7的內(nèi)部通過滑腔轉(zhuǎn)動(dòng)連接有傳輸皮帶3，電機(jī)安裝架7的一端電性連接有電機(jī)，設(shè)備主體1的上表面固定安裝有定位滑塊5，封閉塊17可在滑道塊2中滑行，調(diào)整縱向吹氣位置。

37.設(shè)備主體1遠(yuǎn)離滑道塊2的一端通過液壓桿固定連接有定位傳輸機(jī)構(gòu)32，定位傳輸機(jī)構(gòu)32的兩側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)輪傳輸機(jī)構(gòu)33，轉(zhuǎn)輪傳輸機(jī)構(gòu)33分為第二轉(zhuǎn)輪與第二轉(zhuǎn)帶，定位傳輸機(jī)構(gòu)32的一側(cè)固定連接有半圓式支撐架34，半圓式支撐架34的另一端固定安裝在定位滑塊5的底端，定位傳輸機(jī)構(gòu)32通過固定安裝在定位傳輸機(jī)構(gòu)32底端的液壓桿呈偏轉(zhuǎn)狀態(tài)設(shè)置，定位傳輸機(jī)構(gòu)32的一側(cè)固定連接有制動(dòng)滑桿40，制動(dòng)滑桿40的底端固定連接有制動(dòng)滑塊41，制動(dòng)滑塊41的底端設(shè)置有輔助彈簧，制動(dòng)滑塊41位于輔助彈簧的同一側(cè)固定連接有傳輸定位帶42，傳輸定位帶42和輔助彈簧呈錯(cuò)位安裝狀態(tài)，本文中出現(xiàn)的電機(jī)型號(hào)為hl90s-4，氣泵的型號(hào)為mk-25/40。

38.設(shè)備主體1遠(yuǎn)離滑道塊2的一側(cè)固定連接有二次檢測卡槽架35，二次檢測卡槽架35的一側(cè)開設(shè)有滑軌道，二次檢測卡槽架35通過滑軌道滑動(dòng)連接有輔助推塊37，滑軌道的內(nèi)壁固定連接有擦板，二次檢測卡槽架35呈“t字形”通道，所訴二次檢測卡槽架35的內(nèi)腔滑動(dòng)連接有活動(dòng)推桿36，活動(dòng)推桿36的一側(cè)設(shè)置有氣囊柱，氣囊柱分為伸縮氣桿與氣囊，氣囊固定安裝在二次檢測卡槽架35的內(nèi)壁，伸縮氣桿固定安裝在定位傳輸機(jī)構(gòu)32的底端，傳輸皮帶3的外表面通過螺栓連接有硅片固定架4，硅片固定架4的一側(cè)開設(shè)有貫穿式的卡槽，硅片固定架4的一側(cè)通過卡槽滑動(dòng)連接有硅片限位架8，硅片限位架8貫穿于硅片固定架4的一側(cè)固定安裝有限位調(diào)整架9，限位調(diào)整架9的兩側(cè)通過螺栓連接有螺栓固定桿10，硅片限位架8通過限位調(diào)整架9和螺栓固定桿10在硅片固定架4的表面呈滑行狀態(tài)設(shè)置。

39.需要說明的是，其中現(xiàn)有技術(shù)中分片機(jī)構(gòu)可選擇為機(jī)械手，機(jī)械手抓取硅片之前，由于多組硅片重疊在一起，由于其本身材料的吸附性以及沾到雜物后的粘性，較難的分離開來，而機(jī)械手使用較大的力分離，則硅片較易受損，因此，氣泵提供驅(qū)動(dòng)力，氣泵通過封閉塊17傳輸至輔助伸縮桿18，致使輔助伸縮桿18呈由下至上的狀態(tài)移動(dòng)，其為了較好的借助吹力有遠(yuǎn)至今將硅片吹起一段距離，便于分離，而氣泵同時(shí)通過多組傳氣管21之間的連通，將氣流通入至圓球式傳氣架30所開設(shè)的吹氣孔處，而由于橡膠卡扣29將橡膠調(diào)整架31和圓球式傳氣架30與傳氣管21緊密固定，且由于橡膠調(diào)整架31的組成材料為橡膠，具有可塑性，則圓球式傳氣架30呈球狀，被橡膠調(diào)整架31包裹，則圓球式傳氣架30可在橡膠調(diào)整架31包裹下滾動(dòng)，調(diào)整不同范圍性的吹氣方向，同時(shí)傳氣管21為多組，吹氣形成吹氣區(qū)域，擴(kuò)大了單次吹氣范圍，更加便于將硅片分離。

40.同時(shí)由于硅片的大小與種類不同，現(xiàn)有直接利用傳輸帶傳輸，雖然簡單，但是較易

放錯(cuò)位置，而影響后期的檢測，則手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)螺栓固定桿10上的螺栓，可拆除限位調(diào)整架9，則硅片限位架8與硅片固定架4可以直接拆除，若硅片體積過大，過多的硅片固定架4會(huì)影響硅片分選后的檢測時(shí)間，時(shí)間過短，檢測系統(tǒng)無法做出有效判斷，拆除兩兩之間的硅片固定架4，不僅調(diào)整了硅片之間的安裝間距，且不用調(diào)整間隙，同時(shí)增加了硅片安裝的穩(wěn)定性，硅片限位架8在硅片固定架4上可以滑動(dòng)，則對于不同種類的硅片，適應(yīng)其寬度，節(jié)省了硅片的安裝成本。

41.實(shí)施例2。

42.作為本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，參照圖2-8，封閉塊17的內(nèi)部滑動(dòng)連接有輔助伸縮桿18，輔助伸縮桿18的外表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有吹風(fēng)機(jī)構(gòu)19，吹風(fēng)機(jī)構(gòu)19的外表面固定連接有多組圓環(huán)卡位板20，多組圓環(huán)卡位板20的一側(cè)固定連接有相應(yīng)數(shù)量的傳氣管21，多組傳氣管21通過氣管相連，傳氣管21的頂端通過螺栓連接有橡膠卡扣29，橡膠卡扣29的一側(cè)開設(shè)有輔助插槽，橡膠卡扣29的一側(cè)通過輔助插槽插接有橡膠調(diào)整架31，橡膠調(diào)整架31的內(nèi)壁之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有圓球式傳氣架30，定位滑塊5的外表面滑動(dòng)連接有契合插板架22，契合插板架22的中央轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺紋定位桿23，螺紋定位桿23穿過契合插板架22的一端固定連接有檢測組件24，檢測組件24的兩側(cè)固定連接有插桿，插桿固定連接在契合插板架22的底端，檢測組件24的底端設(shè)置有圖像檢測組件。

43.需要說明的是，其中硅片移動(dòng)至檢測區(qū)域時(shí)，現(xiàn)有技術(shù)的檢測方式為圖像檢測組件采集下方硅片的厚度、寬度和折損狀況，在此前，避免檢測組件24離硅片過近，而壓壞了硅片，則工作人員通過手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)螺紋定位桿23，螺紋定位桿23與檢測組件24的連接處于螺紋連接，螺紋定位桿23帶動(dòng)檢測組件24下移或者上升，由于檢測組件24的兩側(cè)通過插桿與契合插板架22固定，則檢測組件24只能進(jìn)行上下移動(dòng)，同時(shí)，檢測組件24下移至一段距離，帶動(dòng)“l(fā)字形”桿25下移，“l(fā)字形”桿25通過擠壓氣囊管27內(nèi)部的空氣與吹氣架28處于封閉連接狀態(tài)。

44.則現(xiàn)有技術(shù)中，檢測組件24通過圖像檢測組件對硅片檢測時(shí)，與檢測組件24相連的氣泵帶動(dòng)檢測組件24通過契合插板架22在定位滑塊5上滑動(dòng)跟隨硅片，對其進(jìn)行檢測。

45.因此根據(jù)檢測組件24會(huì)產(chǎn)生滑動(dòng)，則其會(huì)發(fā)生一定的震動(dòng)的情況，本設(shè)備利用彈簧桿26的彈力以及氣囊管27內(nèi)部的氣流形成緩沖，減緩震動(dòng)。

46.同時(shí)，檢測推塊16為傳輸皮帶3的兩側(cè)，可對硅片進(jìn)行擠壓，硅片在通過檢測組件24時(shí)，檢測組件24所帶的感應(yīng)組件會(huì)連帶著電機(jī)運(yùn)動(dòng)，電機(jī)帶動(dòng)輔助轉(zhuǎn)輪塊11旋轉(zhuǎn)，輔助轉(zhuǎn)輪塊11通過卡位轉(zhuǎn)桿12帶動(dòng)螺栓固定架13進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，而由于檢測推塊16被契合卡位架15固定，則螺紋調(diào)整桿14帶著檢測推塊16只進(jìn)行滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)，檢測推塊16會(huì)對硅片的兩側(cè)進(jìn)行擠壓，對硅片的彎折力進(jìn)行測試，而根據(jù)不同的彎折力測試要求，工作人員手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)螺紋調(diào)整桿14，螺紋調(diào)整桿14通過與契合卡位架15的螺紋連接，調(diào)整檢測推塊16與硅片的遠(yuǎn)近，其同樣代表調(diào)整了對硅片的壓力，從而便于滿足不同要求對硅片進(jìn)行檢測。

47.實(shí)施例3。

48.作為本發(fā)明的另一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例，參照圖5-10，檢測組件24的兩側(cè)開設(shè)有定位槽，檢測組件24的兩側(cè)通過定位槽滑動(dòng)連接有“l(fā)字形”桿25，“l(fā)字形”桿25的底端固定連接有彈簧桿26，彈簧桿26的底端固定連接有氣囊管27，氣囊管27的一端插接有吹氣架28，吹氣架28正對于檢測組件24的底端，定位滑塊5的表面開設(shè)有用于吹氣架28滑行的軌道，氣囊管27與

吹氣架28和彈簧桿26的連接處設(shè)置有橡膠套，定位滑塊5的兩側(cè)固定連接有兩組固定卡塊6，一組固定卡塊6的一端固定連接有電機(jī)，兩組固定卡塊6之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩組輔助轉(zhuǎn)輪塊11，兩組輔助轉(zhuǎn)輪塊11之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有卡位轉(zhuǎn)桿12，卡位轉(zhuǎn)桿12的中央通過螺栓連接有螺栓固定架13，螺栓固定架13朝向傳輸皮帶3的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺紋調(diào)整桿14，螺紋調(diào)整桿14的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有檢測推塊16，檢測推塊16的兩側(cè)固定連接有契合卡位架15，契合卡位架15固定連接在定位滑塊5的另一側(cè)，制動(dòng)滑塊41的一側(cè)通過固定安裝板安裝在二次檢測卡槽架35的一側(cè)，傳輸定位帶42的外側(cè)繞接有第一錐形齒輪43，第一錐形齒輪43的內(nèi)腔轉(zhuǎn)動(dòng)連接有卡位輔助桿，卡位輔助桿固定安裝在設(shè)備主體1的一側(cè)，二次檢測卡槽架35的一側(cè)固定連接有定位螺紋桿39，定位螺紋桿39的外表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二錐形齒輪44，第二錐形齒輪44和第一錐形齒輪43呈嚙合狀態(tài)設(shè)置，定位螺紋桿39的外表面滑動(dòng)連接有定位壓桿38，定位壓桿38固定安裝在輔助推塊37的一側(cè)。

49.需要說明的是，其中硅片從傳輸皮帶3上傳輸至定位傳輸機(jī)構(gòu)32上，根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)領(lǐng)域中，檢測組件24對硅片進(jìn)行判定，若硅片質(zhì)量合格，則硅片通過轉(zhuǎn)輪傳輸機(jī)構(gòu)33傳遞至合格收集區(qū)，若硅片不合格，則通過控制組件對定位傳輸機(jī)構(gòu)32的氣泵控制，定位傳輸機(jī)構(gòu)32通過氣泵向內(nèi)收縮移動(dòng)，由于定位傳輸機(jī)構(gòu)32的底端連接的半圓式支撐架34為曲形伸縮桿，曲形伸縮桿一端與定位傳輸機(jī)構(gòu)32底端相連，另一端與傳輸皮帶3的底端相連，則定位傳輸機(jī)構(gòu)32發(fā)生偏轉(zhuǎn)，不合格硅片通過定位滑塊5兩側(cè)擋板阻擋，落入二次檢測卡槽架35中，同時(shí)橡膠調(diào)整架31彎折后通過對伸縮氣桿擠壓，伸縮氣桿擠壓氣囊，氣囊發(fā)生變形，對活動(dòng)推桿36向外推動(dòng)，硅片傳遞至二次檢測卡槽架35的槽內(nèi)。

50.由于有些不合格硅片是由于表面不干凈，或者檢測速度過快，而沒有檢測到，則定位傳輸機(jī)構(gòu)32帶動(dòng)制動(dòng)滑桿40下移，制動(dòng)滑桿40帶動(dòng)制動(dòng)滑塊41在固定安裝板滑行，傳輸定位帶42在第一錐形齒輪43的一端是固定的，其為纏繞在第一錐形齒輪43的表面，可參考現(xiàn)有技術(shù)中的收卷尺，在此說明第一錐形齒輪43的只能在被限位在卡位輔助桿的同一位置旋轉(zhuǎn)，且卡位輔助桿表面固定連接有扭力彈簧，扭力彈簧的一端與第一錐形齒輪43固定連接，由于傳輸定位帶42傳輸過程中與第一錐形齒輪43的表面產(chǎn)生滾動(dòng)摩擦力。

51.因此制動(dòng)滑塊41通過傳輸定位帶42帶著第一錐形齒輪43沿著卡位輔助桿表面順時(shí)針滑行，同時(shí)輔助彈簧是為了幫助制動(dòng)滑塊41和傳輸定位帶42恢復(fù)原處，且第一錐形齒輪43旋轉(zhuǎn)過程中，第一錐形齒輪43帶著扭力彈簧旋轉(zhuǎn)，當(dāng)制動(dòng)滑塊41沒有受到外力時(shí)，扭力彈簧的一端與卡位輔助桿固定，扭力彈簧另一端與第一錐形齒輪43固定，扭力彈簧通過自身恢復(fù)性帶著第一錐形齒輪43逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，因此第一錐形齒輪43逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，則第一錐形齒輪43帶著傳輸定位帶42收縮至原處。

52.第一錐形齒輪43通過與第二錐形齒輪44嚙合，在此說明第一錐形齒輪43小于第二錐形齒輪44，則第二錐形齒輪44順著第一錐形齒輪43在定位螺紋桿39上順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，第二錐形齒輪44與第一錐形齒輪43分別在定位螺紋桿39和卡位輔助桿上時(shí)有限位環(huán)限位的，則兩個(gè)齒輪不會(huì)移動(dòng)，則第二錐形齒輪44帶著定位螺紋桿39同步旋轉(zhuǎn)，定位螺紋桿39與定位壓桿38嚙合，則定位壓桿38通過嚙合的旋轉(zhuǎn)摩擦力向二次檢測卡槽架35的中央移動(dòng)，定位壓桿38帶著輔助推塊37推動(dòng)硅片在二次檢測卡槽架35的擦板上擦拭，且由于不合格硅片是一組一組被運(yùn)輸至二次檢測區(qū)域，則避免了硅片堆積而較難分離，同時(shí)減少后期檢測誤差，減少了檢測成本與提高檢測效率。

53.實(shí)施例4。

54.本發(fā)明還提供一種采用上述實(shí)施例1-3中的單晶硅片分選機(jī)的使用方法，包括以下步驟：s1：根據(jù)硅片的大小與種類不同，硅片限位架8在硅片固定架4上可以滑動(dòng)以及拆裝，增大或者縮小硅片放置間距；s2：機(jī)械手抓取硅片之前，氣泵通過封閉塊17傳輸至輔助伸縮桿18，致使輔助伸縮桿18呈由下至上的狀態(tài)移動(dòng)，其為了較好的借助吹力有遠(yuǎn)至今將硅片吹起一段距離，接著機(jī)械手將硅片放置在傳輸皮帶3上，完成運(yùn)輸；s3：硅片移動(dòng)至檢測區(qū)域時(shí)，圖像檢測組件采集下方硅片的厚度、寬度和折損狀況，同時(shí)檢測推塊16會(huì)對硅片的兩側(cè)進(jìn)行擠壓，對硅片的彎折力進(jìn)行測試，完成對硅片的質(zhì)量檢測；s4：若硅片質(zhì)量合格，則硅片通過轉(zhuǎn)輪傳輸機(jī)構(gòu)33傳遞至合格收集區(qū)，若硅片不合格，則通過控制組件對定位傳輸機(jī)構(gòu)32的氣泵控制，將硅片收集至二次檢測區(qū)域，便于后期快速質(zhì)量再次檢測。

55.最后應(yīng)說明的幾點(diǎn)是：首先，在本技術(shù)的描述中，需要說明的是，除非另有規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，可以是機(jī)械連接或電連接，也可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通，可以是直接相連，“上”、“下”、“左”、“右”等僅用于表示相對位置關(guān)系，當(dāng)被描述對象的絕對位置改變，則相對位置關(guān)系可能發(fā)生改變。

56.其次：本發(fā)明公開實(shí)施例附圖中，只涉及到與本公開實(shí)施例涉及到的結(jié)構(gòu)，其他結(jié)構(gòu)可參考通常設(shè)計(jì)，在不沖突情況下，本發(fā)明同一實(shí)施例及不同實(shí)施例可以相互組合。

57.最后：以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。技術(shù)特征：

1.一種單晶硅片分選機(jī)，包括設(shè)備主體（1）和固定連接在設(shè)備主體（1）上表面的滑道塊（2），所述設(shè)備主體（1）的一側(cè)設(shè)置有分片機(jī)構(gòu)，所述滑道塊（2）的內(nèi)腔滑動(dòng)連接有封閉塊（17），所述封閉塊（17）的底端固定連接有氣泵，所述設(shè)備主體（1）的頂端固定連接有電機(jī)安裝架（7），所述電機(jī)安裝架（7）的內(nèi)部通過滑腔轉(zhuǎn)動(dòng)連接有傳輸皮帶（3），所述電機(jī)安裝架（7）的一端電性連接有電機(jī)，所述設(shè)備主體（1）的上表面固定安裝有定位滑塊（5）；其特征在于，所述設(shè)備主體（1）遠(yuǎn)離滑道塊（2）的一端通過液壓桿固定連接有定位傳輸機(jī)構(gòu)（32），所述定位傳輸機(jī)構(gòu)（32）的兩側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)輪傳輸機(jī)構(gòu)（33），所述轉(zhuǎn)輪傳輸機(jī)構(gòu)（33）分為第二轉(zhuǎn)輪與第二轉(zhuǎn)帶，所述定位傳輸機(jī)構(gòu)（32）的底端固定連接有半圓式支撐架（34），所述定位滑塊（5）的底端固定連接有安裝板，所述轉(zhuǎn)輪傳輸機(jī)構(gòu)（33）的第二轉(zhuǎn)輪轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在定位滑塊（5）安裝板的一側(cè)，所述定位傳輸機(jī)構(gòu)（32）通過固定安裝在定位傳輸機(jī)構(gòu)（32）底端的液壓桿呈偏轉(zhuǎn)狀態(tài)設(shè)置，所述定位傳輸機(jī)構(gòu)（32）的一側(cè)固定連接有制動(dòng)滑桿（40），所述制動(dòng)滑桿（40）的底端固定連接有制動(dòng)滑塊（41），所述制動(dòng)滑塊（41）的底端設(shè)置有輔助彈簧，所述制動(dòng)滑塊（41）位于輔助彈簧的同一側(cè)固定連接有傳輸定位帶（42），所述傳輸定位帶（42）和輔助彈簧呈錯(cuò)位安裝狀態(tài)；所述設(shè)備主體（1）遠(yuǎn)離滑道塊（2）的一側(cè)固定連接有二次檢測卡槽架（35），所述二次檢測卡槽架（35）的一側(cè)開設(shè)有滑軌道，所述二次檢測卡槽架（35）通過滑軌道滑動(dòng)連接有輔助推塊（37），所述滑軌道的內(nèi)壁固定連接有擦板，所述二次檢測卡槽架（35）呈“t字形”通道，所訴二次檢測卡槽架（35）的內(nèi)腔滑動(dòng)連接有活動(dòng)推桿（36），所述活動(dòng)推桿（36）的一側(cè)設(shè)置有氣囊柱，所述氣囊柱分為伸縮氣桿與氣囊，所述氣囊固定安裝在二次檢測卡槽架（35）的內(nèi)壁，所述伸縮氣桿固定安裝在定位傳輸機(jī)構(gòu)（32）的底端；所述封閉塊（17）的頂端固定連接有輔助伸縮桿（18），所述輔助伸縮桿（18）的外表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有吹風(fēng)機(jī)構(gòu)（19），所述吹風(fēng)機(jī)構(gòu)（19）的外表面固定連接有多組圓環(huán)卡位板（20），多組所述圓環(huán)卡位板（20）的一側(cè)固定連接有相應(yīng)數(shù)量的傳氣管（21）；所述定位滑塊（5）的外表面滑動(dòng)連接有契合插板架（22），所述契合插板架（22）的中央轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺紋定位桿（23），所述螺紋定位桿（23）穿過契合插板架（22）的一端固定連接有檢測組件（24），所述檢測組件（24）的兩側(cè)固定連接有插桿，所述插桿固定連接在契合插板架（22）的底端；所述定位滑塊（5）的兩側(cè)固定連接有兩組固定卡塊（6），一組所述固定卡塊（6）的一端固定連接有電機(jī)，所述兩組固定卡塊（6）之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩組輔助轉(zhuǎn)輪塊（11），兩組所述輔助轉(zhuǎn)輪塊（11）之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有卡位轉(zhuǎn)桿（12），所述卡位轉(zhuǎn)桿（12）的中央通過螺栓連接有螺栓固定架（13），所述螺栓固定架（13）朝向傳輸皮帶（3）的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺紋調(diào)整桿（14），所述螺紋調(diào)整桿（14）的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有檢測推塊（16），所述檢測推塊（16）的兩側(cè)固定連接有契合卡位架（15），所述契合卡位架（15）固定連接在定位滑塊（5）的另一側(cè)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅片分選機(jī)，其特征在于，所述傳輸皮帶（3）的外表面通過螺栓連接有硅片固定架（4），所述硅片固定架（4）的一側(cè)開設(shè)有貫穿式的卡槽，所述硅片固定架（4）的一側(cè)通過卡槽滑動(dòng)連接有硅片限位架（8），所述硅片限位架（8）貫穿于硅片固定架（4）的一側(cè)固定安裝有限位調(diào)整架（9），所述限位調(diào)整架（9）的兩側(cè)通過螺栓連接有螺栓固定桿（10），所述硅片限位架（8）通過限位調(diào)整架（9）和螺栓固定桿（10）在硅片固定架（4）的表面呈滑行狀態(tài)設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅片分選機(jī)，其特征在于，多組所述傳氣管（21）通過氣管相連，所述傳氣管（21）的頂端通過螺栓連接有橡膠卡扣（29），所述橡膠卡扣（29）的一側(cè)開設(shè)有輔助插槽，所述橡膠卡扣（29）的一側(cè)通過輔助插槽插接有橡膠調(diào)整架（31），所述橡膠調(diào)整架（31）的內(nèi)壁之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有圓球式傳氣架（30）。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅片分選機(jī)，其特征在于，所述檢測組件（24）的底端設(shè)置有圖像檢測組件，所述檢測組件（24）的兩側(cè)開設(shè)有定位槽，所述檢測組件（24）的兩側(cè)通過定位槽滑動(dòng)連接有“l(fā)字形”桿（25）。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種單晶硅片分選機(jī)，其特征在于，所述“l(fā)字形”桿（25）的底端固定連接有彈簧桿（26），所述彈簧桿（26）的底端固定連接有氣囊管（27），所述氣囊管（27）的一端插接有吹氣架（28），所述吹氣架（28）正對于檢測組件（24）的底端，所述定位滑塊（5）的表面開設(shè)有用于吹氣架（28）滑行的軌道，所述氣囊管（27）與吹氣架（28）和彈簧桿（26）的連接處設(shè)置有橡膠套。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅片分選機(jī)，其特征在于，所述制動(dòng)滑塊（41）的一側(cè)通過固定安裝板安裝在二次檢測卡槽架（35）的一側(cè)，所述傳輸定位帶（42）的外側(cè)繞接有第一錐形齒輪（43），所述第一錐形齒輪（43）的內(nèi)腔轉(zhuǎn)動(dòng)連接有卡位輔助桿，所述卡位輔助桿固定安裝在設(shè)備主體（1）的一側(cè)，所述二次檢測卡槽架（35）的一側(cè)固定連接有定位螺紋桿（39），所述定位螺紋桿（39）的外表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二錐形齒輪（44），所述第二錐形齒輪（44）和第一錐形齒輪（43）呈嚙合狀態(tài)設(shè)置，所述定位螺紋桿（39）的外表面滑動(dòng)連接有定位壓桿（38），所述定位壓桿（38）固定安裝在輔助推塊（37）的一側(cè)。7.一種單晶硅片分選機(jī)及其使用方法，其特征在于，包括以下步驟：s1：根據(jù)硅片的大小與種類不同，硅片限位架（8）在硅片固定架（4）上可以滑動(dòng)以及拆裝，增大或者縮小硅片放置間距；s2：機(jī)械手抓取硅片之前，氣泵通過封閉塊（17）傳輸至輔助伸縮桿（18），致使輔助伸縮桿（18）呈由下至上的狀態(tài)移動(dòng)，其為了較好的借助吹力有遠(yuǎn)至今將硅片吹起一段距離，接著機(jī)械手將硅片放置在傳輸皮帶（3）上，完成運(yùn)輸；s3：硅片移動(dòng)至檢測區(qū)域時(shí)，圖像檢測組件采集下方硅片的厚度、寬度和折損狀況，同時(shí)檢測推塊（16）會(huì)對硅片的兩側(cè)進(jìn)行擠壓，對硅片的彎折力進(jìn)行測試，完成對硅片的質(zhì)量檢測；s4：若硅片質(zhì)量合格，則硅片通過轉(zhuǎn)輪傳輸機(jī)構(gòu)（33）傳遞至合格收集區(qū)，若硅片不合格，則通過控制組件對定位傳輸機(jī)構(gòu)（32）的氣泵控制，將硅片收集至二次檢測區(qū)域，便于后期快速質(zhì)量再次檢測。

技術(shù)總結(jié)

本發(fā)明公開了一種單晶硅片分選機(jī)及其使用方法，具體涉及硅片制作領(lǐng)域，包括設(shè)備主體和固定連接在設(shè)備主體上表面的滑道塊，所述設(shè)備主體的一側(cè)設(shè)置有分片機(jī)構(gòu)，所述滑道塊的內(nèi)腔滑動(dòng)連接有封閉塊，所述封閉塊的底端固定連接有氣泵，所述設(shè)備主體的頂端固定連接有電機(jī)安裝架，兩個(gè)齒輪不會(huì)移動(dòng)，則第二齒輪帶著定位螺紋桿同步旋轉(zhuǎn)，定位螺紋桿與定位壓桿嚙合，則定位壓桿通過嚙合的旋轉(zhuǎn)摩擦力向二次檢測卡槽架的中央移動(dòng)，定位壓桿帶著輔助推塊推動(dòng)硅片在二次檢測卡槽架的擦板上擦拭，且由于不合格硅片是一組一組被運(yùn)輸至二次檢測區(qū)域，則避免了硅片堆積而較難分離，同時(shí)減少后期檢測誤差，減少了檢測成本與提高檢測效率。減少了檢測成本與提高檢測效率。減少了檢測成本與提高檢測效率。

技術(shù)研發(fā)人員：朱仁德 章祥靜

受保護(hù)的技術(shù)使用者：無錫京運(yùn)通科技有限公司

技術(shù)研發(fā)日：2022.08.22

技術(shù)公布日：2022/9/20