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基于聲表面波的柔性微米線電極的制造裝置

1067   編輯：管理員   來(lái)源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:21:21
本實(shí)用新型公開了一種基于聲表面波的柔性微米線電極的制造裝置。鈮酸鋰晶片上制造一對(duì)叉指電極，無(wú)蓋的PDMS腔體覆蓋在鈮酸鋰晶片的正中央，兩個(gè)叉指電極分別位于PDMS腔體的兩側(cè)并呈對(duì)稱分布，PDMS腔體內(nèi)充滿由光敏材料和納米銀線組成的液態(tài)預(yù)聚物，UV固化燈置于鈮酸鋰晶片下方；啟動(dòng)信號(hào)發(fā)生器，壓電晶片受到高頻交變電場(chǎng)的作用而激發(fā)聲表面波，通過(guò)調(diào)節(jié)信號(hào)發(fā)生器的輸出頻率使PDMS腔體覆蓋區(qū)域形成穩(wěn)定的駐波場(chǎng)；納米銀線線性排布，待排布穩(wěn)定后，采用UV固化燈對(duì)PDMS腔體進(jìn)行照射，使液態(tài)預(yù)聚物固化成型。本實(shí)用新型能實(shí)現(xiàn)快速制造柔性的微米線電極，具有操作簡(jiǎn)便、可控性強(qiáng)和生產(chǎn)效率高等特點(diǎn)。
聲明：
“基于聲表面波的柔性微米線電極的制造裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究，如用于商業(yè)用途，請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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