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高溫反應(yīng)燒結(jié)爐

1127   編輯：管理員   來源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:56:01
本實用新型涉及一種高溫反應(yīng)燒結(jié)爐,尤其涉及一種半導(dǎo)體、冶金及其它行業(yè)的熱處理真空工藝處理中應(yīng)用的高溫反應(yīng)燒結(jié)爐。其結(jié)構(gòu)由爐體、反應(yīng)室、送料裝置與旋轉(zhuǎn)裝置和廢氣處理裝置組成;本實用新型所述的高溫反應(yīng)燒結(jié)爐,在原有爐體結(jié)構(gòu)中增加了反應(yīng)室,反應(yīng)室位于爐體內(nèi)部,與爐腔分開;可以節(jié)約工藝氣體,不會在爐壁上產(chǎn)生結(jié)晶,影響高溫燒結(jié)爐的性能。在送料裝置上增加了旋轉(zhuǎn)裝置,使工件在處理過程中持續(xù)旋轉(zhuǎn),讓工件受熱均勻,與工藝氣體接觸均勻,提高產(chǎn)品質(zhì)量。又增加了廢氣處理裝置,對產(chǎn)生的廢氣進行處理,減少對環(huán)境制成的污染。
聲明：
“高溫反應(yīng)燒結(jié)爐” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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