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硅片切割液硅粉回收系統(tǒng)及其工藝的制作方法

1179   編輯:中冶有色技術網(wǎng)   來源:江蘇秉盛環(huán)保工程有限公司  
2023-11-01 11:10:45
硅片切割液硅粉回收系統(tǒng)及其工藝的制作方法

1.本發(fā)明涉及一種硅片切割液硅粉回收系統(tǒng)及其工藝。

背景技術:

2.在光伏產(chǎn)業(yè)鏈中,硅片切割是光伏電池生產(chǎn)中一個十分重要的工序,而對于硅片生產(chǎn)商而言,sic砂和peg是最重要的輔料,在切割加工成本消耗中占據(jù)主要位置。砂漿是太陽能硅片切割中通用的一種說法,主要由聚乙二醇(peg)與碳化硅(sic)微粉混合攪拌而成。在硅片切割領域,最直接降低生產(chǎn)成本的措施就是對切割后的廢砂漿進行回收利用。目前主流的處理方法是采用離線回收技術,即切片后的廢砂漿交給回收處理的工廠進行處理,分離出砂和液重新處理后,返回切片廠重新攪拌調和后進行使用。線切割加工的過程有賴于晶硅切割液(又稱切削液、懸浮液)、碳化硅微粉(又稱磨料、切割砂)的配合使用,同時會伴生大量的晶硅切割廢砂漿。根據(jù)國內(nèi)硅片企業(yè)的平均工藝水平,1mw硅片約需耗用12噸晶體硅;每切割1噸晶體硅約需要使用3.0噸碳化硅微粉和3.2噸晶硅切割液,并在切割過程中產(chǎn)生約7.6~7.9噸切割廢砂漿。根據(jù)2010年國內(nèi)硅片產(chǎn)業(yè)的統(tǒng)計數(shù)據(jù),預期2012年,國內(nèi)硅片企業(yè)年需碳化硅微粉約115.2萬噸、晶硅切割液約122.88萬噸,年產(chǎn)生切割廢砂漿總量約300萬噸。切割廢砂漿的主要成分為切割液組份、碳化硅、硅粉以及金屬雜質。眾所周知,晶硅切割切割環(huán)節(jié)有約50%的晶硅被切割成硅粉而進入到廢砂漿中,由于缺乏有效的回收和綜合利用技術,每年上萬t晶硅材料被白白損失掉。單晶和多晶硅都是通過高能耗、高成本得到的,其市場價值遠大于碳化硅、切割液等輔材;若能針對硅片生產(chǎn)環(huán)節(jié)的廢棄晶硅組份加以回收利用,使其體現(xiàn)應有的循環(huán)經(jīng)濟價值,無疑具有極其巨大的經(jīng)濟、社會和環(huán)境效益。

3.現(xiàn)有技術中對硅片切割液的性質也有所研究,以線據(jù)廢料為原材料,xrd測試表明線鋸廢料中固體粉末主要成分為sic和si;廢料的固體粉末中存在兩種粒徑以及形貌差異較大的顆粒,其中棱角分明、尺寸較大,粒徑在4~8μm左右的為碳化硅顆粒;粒徑較小,粒徑在2μm以下的為硅粉,整體平均粒度約為3.7μm。將原始的線鋸廢料和用去離子水清洗去peg后得到的廢料在80℃恒溫水浴中放置7天均未發(fā)現(xiàn)明顯的氧化現(xiàn)象,表明碳化硅和硅粉在水中相對穩(wěn)定,結合密度和顆粒度的差異以及碳化硅親水憎油、硅粉憎水親油的特性,在二者的分離上可以采用水力旋流或相轉移分離工藝(參見黃建華在《科技視界》雜志上發(fā)表的論文《硅片線鋸廢料中固體粉末的氧化性能研究》)。但現(xiàn)有技術中少有硅粉回收的方案,更多的是砂漿回收的方案,如劉坤在《制造業(yè)自動化》雜志第37卷第3期上發(fā)表的論文《廢砂漿在線回收設備與工作原理研究》,新砂漿在切片機上切割硅片后產(chǎn)生的廢舊砂漿,經(jīng)過離心機的一次分離,分離出粗粉(主要成分為sic砂,可以回收使用)和一次分離液相(主要成分為peg和硅粉),其中一次分離產(chǎn)生的固相d50大于5μm的主要為可以回收使用的sic砂,此部分會進入到調制攪拌桶內(nèi),待重新利用。而一次液相含有小于5μm的雜質sic砂與硅片切割后遺漏的硅粉與其他雜質物體,不能直接使用,通過離心機的與壓濾機的二次分離,產(chǎn)生二次固相與二次液相,二次固相主要為硅片切割后遺漏的硅粉與其他雜質物體,此部分直接

作為廢棄物處理。二次液相主要為可以回收使用的peg回收液,進入調制攪拌桶內(nèi),加入20%左右的新sic砂與peg液體,與一次分離的固相攪拌均勻后成為再生砂漿,可以重新投入使用。其將二次固相也即主要成分為硅片切割后遺漏的硅粉與其他雜質物體,直接作為廢棄物丟棄了,如果能夠將硅粉回收將具有極其巨大的經(jīng)濟、社會和環(huán)境效益。

4.公開號為cn106082233a的專利:一種從金剛線切割漿料中回收硅粉的方法。往金剛線切割單晶硅的漿料中添加絮凝劑進行沉降,沉降結束后,采用離心泵將漿料抽至壓濾機中進行壓濾,得到硅泥;將壓濾后的硅泥加入攪拌池中浮選、過濾、第一次酸洗、壓濾、第二次酸洗、壓濾、水洗后得到硅粉漿料;將硅粉漿料采用氣動隔膜泵抽至壓濾機進行壓濾收集,獲得高純硅粉。其先絮凝后壓濾,再浮選、酸洗、壓濾后回收硅粉,但現(xiàn)實中存在絮凝劑與水混合得不均而影響絮凝后的壓濾效果的問題,以及絮凝劑如何在濾布上形成均勻的濾膜以提高壓濾效果的問題。

技術實現(xiàn)要素:

5.本發(fā)明的目的在于,克服現(xiàn)有技術中存在的缺陷,提供一種硅片切割液硅粉回收系統(tǒng),能夠有效將硅粉回收,另外,絮凝劑與清水混合更均勻,絮凝劑在濾布上形成的濾膜更均勻。

6.為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明的技術方案是設計一種硅片切割液硅粉回收系統(tǒng),包括依次設置的臥式離心機、第一壓濾機、旋流分離器及第二壓濾機;臥式離心機的輕液液相出口與第一壓濾機的進料口相連,第一壓濾機的濾泥排出口與旋流分離器的進料口相連,旋流分離器的輕相懸浮液排出口與第二壓濾機的進料口相連。旋流分離器的輕相懸浮液排出口也即旋流分離器的上溢出口。經(jīng)臥式離心機分離出固相(主要成分為sic砂,可以回收使用)和一次分離液相(主要成分為peg和硅粉),其中一次分離產(chǎn)生的固相d50大于5μm的主要為可以回收使用的sic砂,此部分會進入到調制攪拌桶內(nèi),待重新利用,而對于一次分離液相,則將其引入絮凝機中絮凝,將一次分離液相中的小粒徑的硅粉絮凝成大顆粒后便于后續(xù)的壓濾處理分離。本發(fā)明能夠將硅粉回收,使其體現(xiàn)應有的循環(huán)經(jīng)濟價值,具有極其巨大的經(jīng)濟、社會和環(huán)境效益。

7.進一步的技術方案是,臥式離心機與第一壓濾機之間還設有初步絮凝機;臥式離心機的輕液液相出口與初步絮凝機的進料口相連,初步絮凝機的出料口與第一壓濾機的進料口相連。通過初步絮凝機的設置使得絮凝劑與清水混合更均勻,利于絮凝,使得硅粉成團、形成大顆粒,便于后續(xù)壓濾。

8.進一步的技術方案是,初步絮凝機包括筒狀機體,機體下部固定連接有支撐腳,機體上設有與清水進水水源相連的進料口,機體內(nèi)設有與進料口相連通的中心導流筒,中心導流筒下端呈錐筒狀,中心導流筒中部設有液面限位溢流孔,機體上還設有正對中心導流筒筒內(nèi)側壁的絮凝劑添加口。中心導流筒中部設有液面限位溢流孔,這樣可以避免中心導流筒內(nèi)一次注入太多清水或絮凝劑,配合清水進料口及絮凝劑添加口脈沖式進液可以保證絮凝劑與清水在中心導流筒內(nèi)少量多次的混合、在中心導流筒的內(nèi)側壁上接觸、混合。中心導流筒下端呈錐筒狀也可以使得最終流入到中心導流筒筒底處的絮凝劑與清水也可以較好地混合(由于絮凝劑及清水傾斜注入沿中心導流筒筒內(nèi)側壁呈類似螺旋形式向下,最終到筒底后仍有一定速度)。而清水及絮凝劑添脈沖式的間斷注入方式,起到了攪拌的作用,

可以省去攪拌機構。

9.進一步的技術方案為,中心導流筒筒內(nèi)側壁上一體或固定設有凸起;凸起為圓環(huán)凸起或間隔布置在中心導流筒筒內(nèi)側壁上的弧形凸起。凸起的設置用于提高絮凝劑或清水在中心導流筒筒內(nèi)側壁上停留的時間,用于保證兩者的充分混合。

10.進一步的技術方案為,機體上還設有清水水源補充進料口及絮凝劑補充添加口,清水水源補充進料口及絮凝劑補充添加口均通過連接管正對中心導流筒的筒外側壁設置,連接管其面向中心導流筒的管口位置上低于液面限位溢流孔;

11.中心導流筒筒外側壁上一體或固定設有凸起;凸起為圓環(huán)凸起或間隔布置在中心導流筒筒內(nèi)側壁上的弧形凸起。正對中心導流筒外側壁的清水水源補充進料口及絮凝劑補充添加口的設置可以避免從液面限位溢流孔溢出后而沿著中心導流筒外側壁流出的液體(流出的液體可能是絮凝劑,也可能是清水,到底是哪種,看溢出之前是清水在注入還是絮凝劑在注入)未與另一種液體混合而流入到機體的底部,這樣設置后即使溢出,還注入一部分另一種液體保證機體內(nèi)的液體幾乎全部都是混合均勻的。

12.進一步的技術方案為,中心導流筒內(nèi)設有液位計,清水水源補充進料口及絮凝劑補充添加口上均設置啟閉閥,絮凝劑添加口及進料口處也均設置啟閉閥,液位計與控制器電連接,控制器與啟閉閥電連接。通過液位計、控制器及啟閉閥的設置,可以在中心導流筒液面達到液面限位溢流孔后及時關閉啟閉閥并根據(jù)當時的情況根據(jù)最后注入的液體的情況(是注入清水還是絮凝劑)而開啟絮凝劑補充添加口或清水水源補充進料口上的啟閉閥以保證溢出的液體也得到了混合。

13.進一步的技術方案為,絮凝劑添加口及進料口通過連接管正對中心導流筒的筒內(nèi)側壁設置;連接管傾斜彎曲設置。連接管傾斜的程度或者彎曲的曲率與中心導流筒筒內(nèi)側壁的曲率接近,以增加注入到中心導流筒筒內(nèi)側壁上的液流緩慢或者說盡可能長時間的停留于中心導流筒的筒內(nèi)側壁上。這樣的設置方式,可以做到甚至不用攪拌機構也能實現(xiàn)絮凝劑與清水的混合均勻。

14.進一步的技術方案為,臥式離心機上設有位于進料口一側的均勻劑添加口;第一壓濾機及第二壓濾機上的濾布采用滌綸材質制成且濾布的目數(shù)為70~280目。均勻劑為脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚中的一種或多種。

15.進一步的技術方案為,初步絮凝機的出料口通過渣漿泵與第一壓濾機的進料口相連;第一壓濾機的濾板內(nèi)部設有電加熱絲,第一壓濾機的濾布與濾板可拆卸式連接。壓濾機內(nèi)帶烘干機構,在形成初步濾膜后烘干,然后開啟壓濾機,轉動濾布后再通過渣漿泵泵入混合形成二次濾膜,以在濾布表面形成非常均勻的濾膜。

16.本發(fā)明還提供的技術方案是,采用硅片切割液硅粉回收系統(tǒng)對硅片切割液中硅粉進行回收的工藝,包括如下依次進行的工藝步驟:將硅片切割液經(jīng)臥式離心機一次分離后的液相絮凝后經(jīng)第一壓濾機壓濾,壓濾后的濾泥加水混合后經(jīng)旋流分離器旋流分離,再將旋流分離后的輕相懸浮液經(jīng)第二壓濾機壓濾后得到的濾渣經(jīng)酸洗、溶劑洗滌烘干后,得到回收的硅粉。

17.本發(fā)明的優(yōu)點和有益效果在于:能夠有效將硅粉回收,另外,絮凝劑與清水混合更均勻,絮凝劑在濾布上形成的濾膜更均勻。

18.本發(fā)明能夠將硅粉回收,使其體現(xiàn)應有的循環(huán)經(jīng)濟價值,具有極其巨大的經(jīng)濟、社

會和環(huán)境效益。

19.通過初步絮凝機的設置使得絮凝劑與清水混合更均勻,利于絮凝,使得硅粉成團、形成大顆粒,便于后續(xù)壓濾。

20.中心導流筒中部設有液面限位溢流孔,這樣可以避免中心導流筒內(nèi)一次注入太多清水或絮凝劑,配合清水進料口及絮凝劑添加口脈沖式進液可以保證絮凝劑與清水在中心導流筒內(nèi)少量多次的混合、在中心導流筒的內(nèi)側壁上接觸、混合。

21.凸起的設置用于提高絮凝劑或清水在中心導流筒筒內(nèi)側壁上停留的時間,用于保證兩者的充分混合。

22.正對中心導流筒外側壁的清水水源補充進料口及絮凝劑補充添加口的設置可以避免從液面限位溢流孔溢出后而沿著中心導流筒外側壁流出的液體(流出的液體可能是絮凝劑,也可能是清水,到底是哪種,看溢出之前是清水在注入還是絮凝劑在注入)未與另一種液體混合而流入到機體的底部,這樣設置后即使溢出,還注入一部分另一種液體保證機體內(nèi)的液體幾乎全部都是混合均勻的。

23.清水及絮凝劑添脈沖式的間斷注入方式,起到了攪拌的作用,可以省去攪拌機構。

24.連接管傾斜的程度或者彎曲的曲率與中心導流筒筒內(nèi)側壁的曲率接近,以增加注入到中心導流筒筒內(nèi)側壁上的液流緩慢或者說盡可能長時間的停留于中心導流筒的筒內(nèi)側壁上。這樣的設置方式,可以做到甚至不用攪拌機構也能實現(xiàn)絮凝劑與清水的混合均勻。

25.壓濾機內(nèi)帶烘干機構,在形成初步濾膜后烘干,然后開啟壓濾機,轉動濾布后再通過渣漿泵泵入混合形成二次濾膜,以在濾布表面形成非常均勻的濾膜。

26.對第一壓濾機的結構進行改進,使得珍珠巖或硅藻土(即絮凝劑)在壓濾機濾布上形成均勻的濾膜(可以根據(jù)情況形成多層初步濾膜,每次形成后烘干然后旋轉90

°

的方式以保證形成的濾膜更加均勻,避免泵入的混合水無法均勻分布到濾布上的問題)。

附圖說明

27.圖1是本發(fā)明一種硅片切割液硅粉回收系統(tǒng)實施例一的示意圖;

28.圖2是圖1中機體的放大示意圖;

29.圖3是圖2的俯視圖;

30.圖4是圖2中的中心導流筒的放大示意圖;

31.圖5是圖4增設出清水水源補充進料口及絮凝劑補充添加口后的示意圖;

32.圖6是本發(fā)明實施例二中的機體的示意圖;

33.圖7是圖6中清水布水管的放大示意圖。

34.圖中:1、臥式離心機;2、第一壓濾機;3、旋流分離器;4、第二壓濾機;5、機體;6、支撐腳;7、進料口;8、中心導流筒;9、液面限位溢流孔;10、絮凝劑添加口;11、凸起;12、連接管;13、絮凝劑布管;14、均勻劑添加口;15、電加熱絲;16、清水布水管;17、螺旋出水管。

具體實施方式

35.下面結合附圖和實施例,對本發(fā)明的具體實施方式作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本發(fā)明的技術方案,而不能以此來限制本發(fā)明的保護范圍。

36.實施例一:

37.如圖1至圖5所示(為便于圖示,圖2未示出凸起及連接管、清水水源補充進料口及絮凝劑補充添加口;圖4未示出清水水源補充進料口及絮凝劑補充添加口),本發(fā)明是一種硅片切割液硅粉回收系統(tǒng),包括依次設置的臥式離心機1、第一壓濾機2、旋流分離器3及第二壓濾機4;臥式離心機1的輕液液相出口與第一壓濾機2的進料口相連,第一壓濾機2的濾泥排出口與旋流分離器3的進料口相連,旋流分離器3的輕相懸浮液排出口與第二壓濾機4的進料口相連。臥式離心機1與第一壓濾機2之間還設有初步絮凝機;臥式離心機1的輕液液相出口與初步絮凝機的進料口相連,初步絮凝機的出料口與第一壓濾機2的進料口相連。初步絮凝機包括筒狀機體5,機體5下部固定連接有支撐腳6,機體5上設有與清水進水水源相連的進料口7,機體5內(nèi)設有與進料口7相連通的中心導流筒8,中心導流筒8下端呈錐筒狀,中心導流筒8中部設有液面限位溢流孔9,機體5上還設有正對中心導流筒8筒內(nèi)側壁的絮凝劑添加口10。中心導流筒8筒內(nèi)側壁上一體設有凸起11;凸起11為間隔布置在中心導流筒8筒內(nèi)側壁上的弧形凸起。機體5上還設有清水水源補充進料口及絮凝劑補充添加口,清水水源補充進料口及絮凝劑補充添加口均通過連接管12正對中心導流筒8的筒外側壁設置,連接管12其面向中心導流筒8的管口位置上低于液面限位溢流孔9;中心導流筒8筒外側壁上固定設有凸起11;凸起11為間隔布置在中心導流筒8筒內(nèi)側壁上的弧形凸起。中心導流筒8內(nèi)設有液位計,清水水源補充進料口及絮凝劑補充添加口上均設置啟閉閥,絮凝劑添加口10及進料口7處也均設置啟閉閥,液位計與控制器電連接,控制器與啟閉閥電連接。絮凝劑添加口10及進料口7通過連接管12正對中心導流筒8的筒內(nèi)側壁設置;連接管12傾斜彎曲設置。臥式離心機1上設有位于進料口一側的均勻劑添加口14(均勻劑的加入量,每100份硅片切割液,均勻劑2~20份、水30~500份;勻漿溫度為室溫);第一壓濾機2及第二壓濾機4上的濾布采用滌綸材質制成且濾布的目數(shù)為70~280目。初步絮凝機的出料口通過渣漿泵與第一壓濾機2的進料口相連;第一壓濾機2的濾板內(nèi)部設有電加熱絲15,第一壓濾機2的濾布與濾板可拆卸式連接。

38.采用硅片切割液硅粉回收系統(tǒng)對硅片切割液中硅粉進行回收的工藝,包括如下依次進行的工藝步驟:將硅片切割液經(jīng)臥式離心機1一次分離后的液相絮凝后經(jīng)第一壓濾機2壓濾,壓濾后的濾泥加水混合后經(jīng)旋流分離器3旋流分離,再將旋流分離后的輕相懸浮液經(jīng)第二壓濾機4壓濾后得到的濾渣經(jīng)酸洗、溶劑洗滌烘干后,得到回收的硅粉。旋流分離溫度為室溫;將輕相懸浮液進行壓濾,得到濾液和濾渣;壓濾分離溫度為室溫;不斷收集濾渣,所得壓濾固態(tài)料用于回收硅粉組份;所得濾液中10~50%(v/v)循環(huán)補充到旋流分離器中,不斷收集其余50~90%濾液(v/v),所得壓濾濾液用于回收切割組份;

39.在所述絮凝過程中,先通過初步絮凝機將絮凝劑與清水混合,然后渣漿泵將絮凝劑與清水混合后的混合水泵入第一壓濾機中;其中混合的過程如下:控制器控制絮凝劑添加口及進料口處的啟閉閥陸續(xù)啟閉以使得絮凝劑與清水呈脈沖式注入到中心導流筒內(nèi)側壁上,當液位計探測到中心導流筒內(nèi)液位達到限位溢流孔時則控制器控制絮凝劑添加口或進料口處的啟閉閥關閉,同時控制器控制清水水源補充進料口處或絮凝劑補充添加口處的啟閉閥開啟設定的時間;

40.絮凝劑添加口處的啟閉閥、進料口處的啟閉閥、清水水源補充進料口處的啟閉閥及絮凝劑補充添加口處的啟閉閥的啟閉時間相同,進液流速也相同,連接管的管徑也相同。

41.在通過渣漿泵將絮凝劑與清水的混合水泵入第一壓濾機形成濾膜的過程中,渣漿

泵先泵入一部分混合水使得混合水在第一壓濾機的濾布上初步形成第一層濾膜,然后停止泵入混合水,將第一層濾膜形成過程中產(chǎn)生的回水通過管道引出(或者回用于與絮凝劑的混合),然后啟動濾板內(nèi)的電加熱絲對濾布上形成的第一層濾膜進行烘干以形成對第一層濾膜的固定成形,然后打開第一壓濾機拆下濾布并對濾布作180

°

旋轉后再固定在濾板上(本方案中濾布與現(xiàn)有技術的一整塊濾布從中部彎折后覆蓋濾板上端面及兩側面不同,本方案中每塊濾板上的濾布由分體式的兩塊單獨濾布構成,兩塊單獨濾布分設于濾板的兩側面且兩塊單獨濾布的上端覆蓋濾布的上端面,濾布位于濾布的下端面的部分采用與現(xiàn)有技術相同的固定方式),然后重新啟動第一壓濾機壓緊濾板,再次通過渣漿泵將絮凝劑與清水的混合水泵入第一壓濾機形成第二次濾膜。對第一壓濾機的結構進行改進,使得珍珠巖或硅藻土(即絮凝劑)在壓濾機濾布上形成均勻的濾膜(可以根據(jù)情況形成多層初步濾膜,每次形成后烘干然后旋轉90

°

的方式以保證形成的濾膜更加均勻,避免泵入的混合水無法均勻分布到濾布上的問題)。

42.實施例二:

43.與實施例一的不同在于,如圖6、圖7所示(為便于圖示,圖6未示出螺旋出水管),初步絮凝機包括筒狀機體,機體下部固定連接有支撐腳,機體上設有進料口,機體內(nèi)設有與進料口相連通的清水布水管16,清水布水管在機體內(nèi)由上至下環(huán)繞均布設置,清水布水管其最下端的管口為封閉端,清水布水管上間隔設有若干個出水口,出水口處設有與清水布水管一體而成或固定連接的螺旋出水管17。機體上還設有絮凝劑添加口,機體內(nèi)設有與絮凝劑添加口相連通的絮凝劑布管13,絮凝劑布管在機體內(nèi)由上至下環(huán)繞均布設置,絮凝劑布管其最下端的管口為封閉端,絮凝劑布管上間隔設有若干個絮凝劑出口,絮凝劑出口處設有與絮凝劑布管一體而成或固定連接的螺旋管。

44.以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,應當指出,對于本技術領域的普通技術人員來說,在不脫離本發(fā)明技術原理的前提下,還可以做出若干改進和潤飾,這些改進和潤飾也應視為本發(fā)明的保護范圍。技術特征:

1.硅片切割液硅粉回收系統(tǒng),其特征在于,包括依次設置的臥式離心機、第一壓濾機、旋流分離器及第二壓濾機;臥式離心機的輕液液相出口與第一壓濾機的進料口相連,第一壓濾機的濾泥排出口與旋流分離器的進料口相連,旋流分離器的輕相懸浮液排出口與第二壓濾機的進料口相連。2.根據(jù)權利要求1所述的硅片切割液硅粉回收系統(tǒng),其特征在于,所述臥式離心機與第一壓濾機之間還設有初步絮凝機;臥式離心機的輕液液相出口與初步絮凝機的進料口相連,初步絮凝機的出料口與第一壓濾機的進料口相連。3.根據(jù)權利要求2所述的硅片切割液硅粉回收系統(tǒng),其特征在于,所述初步絮凝機包括筒狀機體,機體下部固定連接有支撐腳,機體上設有與清水進水水源相連的進料口,機體內(nèi)設有與進料口相連通的中心導流筒,中心導流筒下端呈錐筒狀,中心導流筒中部設有液面限位溢流孔,機體上還設有正對中心導流筒筒內(nèi)側壁的絮凝劑添加口。4.根據(jù)權利要求3所述的硅片切割液硅粉回收系統(tǒng),其特征在于,所述中心導流筒筒內(nèi)側壁上一體或固定設有凸起;凸起為圓環(huán)凸起或間隔布置在中心導流筒筒內(nèi)側壁上的弧形凸起。5.根據(jù)權利要求4所述的硅片切割液硅粉回收系統(tǒng),其特征在于,所述機體上還設有清水水源補充進料口及絮凝劑補充添加口,清水水源補充進料口及絮凝劑補充添加口均通過連接管正對中心導流筒的筒外側壁設置,連接管其面向中心導流筒的管口位置上低于液面限位溢流孔;中心導流筒筒外側壁上一體或固定設有凸起;凸起為圓環(huán)凸起或間隔布置在中心導流筒筒內(nèi)側壁上的弧形凸起。6.根據(jù)權利要求5所述的硅片切割液硅粉回收系統(tǒng),其特征在于,所述中心導流筒內(nèi)設有液位計,清水水源補充進料口及絮凝劑補充添加口上均設置啟閉閥,絮凝劑添加口及進料口處也均設置啟閉閥,液位計與控制器電連接,控制器與啟閉閥電連接。7.根據(jù)權利要求6所述的硅片切割液硅粉回收系統(tǒng),其特征在于,所述絮凝劑添加口及進料口通過連接管正對中心導流筒的筒內(nèi)側壁設置;連接管傾斜彎曲設置。8.根據(jù)權利要求1或2或7所述的硅片切割液硅粉回收系統(tǒng),其特征在于,所述臥式離心機上設有位于進料口一側的均勻劑添加口;第一壓濾機及第二壓濾機上的濾布采用滌綸材質制成且濾布的目數(shù)為70~280目。9.根據(jù)權利要求7所述的硅片切割液硅粉回收系統(tǒng),其特征在于,所述初步絮凝機的出料口通過渣漿泵與第一壓濾機的進料口相連;第一壓濾機的濾板內(nèi)部設有電加熱絲,第一壓濾機的濾布與濾板可拆卸式連接。10.采用如權利要求8所述的硅片切割液硅粉回收系統(tǒng)對硅片切割液中硅粉進行回收的工藝,其特征在于,包括如下依次進行的工藝步驟:將硅片切割液經(jīng)臥式離心機一次分離后的液相絮凝后經(jīng)第一壓濾機壓濾,壓濾后的濾泥加水混合后經(jīng)旋流分離器旋流分離,再將旋流分離后的輕相懸浮液經(jīng)第二壓濾機壓濾后得到的濾渣經(jīng)酸洗、溶劑洗滌烘干后,得到回收的硅粉。

技術總結

本發(fā)明公開了一種硅片切割液硅粉回收系統(tǒng),包括依次設置的臥式離心機、第一壓濾機、旋流分離器及第二壓濾機;臥式離心機的輕液液相出口與第一壓濾機的進料口相連,第一壓濾機的濾泥排出口與旋流分離器的進料口相連,旋流分離器的輕相懸浮液排出口與第二壓濾機的進料口相連。本發(fā)明還公開了硅片切割液硅粉的回收工藝,將硅片切割液經(jīng)臥式離心機一次分離后的液相絮凝后經(jīng)第一壓濾機壓濾,壓濾后的濾泥加水混合后經(jīng)旋流分離器旋流分離,再將旋流分離后的輕相懸浮液經(jīng)第二壓濾機壓濾后得到的濾渣經(jīng)酸洗、溶劑洗滌烘干后,得到回收的硅粉。本發(fā)明能夠有效將硅粉回收,另外,絮凝劑與清水混合更均勻,絮凝劑在濾布上形成的濾膜更均勻。勻。勻。

技術研發(fā)人員:趙東霞 曹雪峰

受保護的技術使用者:江蘇秉盛環(huán)保工程有限公司

技術研發(fā)日:2023.02.22

技術公布日:2023/5/30
聲明:
“硅片切割液硅粉回收系統(tǒng)及其工藝的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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