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用于分選機的高精度硅片輸送裝置的制作方法

1335   編輯:中冶有色技術網(wǎng)   來源:無錫京運通科技有限公司  
2023-10-30 15:42:24
一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置的制作方法

1.本實用新型涉及硅片分選技術領域,尤其涉及一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置。

背景技術:

2.在硅片分選機的生產(chǎn)線中,生產(chǎn)硅片需要先將硅棒切割成硅片,然后對硅片清洗,清洗完成后需要對硅片進行多項檢測,例如包括表面臟污、厚度、隱裂、電阻率等性能的檢測,檢測完成后需要清除清洗時產(chǎn)生的硅片表面碎片。

3.現(xiàn)有技術中的吹片裝置通常用于清洗時從硅片側(cè)面吹片,而這種技術方案不適用于輸送過程中吹走硅片表面碎片。

技術實現(xiàn)要素:

4.針對上述現(xiàn)有技術的缺點,本實用新型的目的是提供一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置,以解決現(xiàn)有技術中的一個或多個問題。

5.為實現(xiàn)上述目的,本實用新型的技術方案如下:

6.一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置,包括硅片、底座以及用于輸送所述硅片的輸送線,所述輸送線設置在所述底座上,所述輸送線包括第一輸送組和第二輸送組,所述第一輸送組遠端和第二輸送組近端具有間隔,所述底座對應間隔處開設第一孔,所述第一孔下方設置盒體,所述第一輸送組包括第一平臺,所述第一平臺兩側(cè)設置支架,所述支架上設置吹風裝置,所述吹風裝置的出風口對準所述間隔處,所述硅片輸送到間隔處時吹風裝置吹風將硅片表面碎片吹落至盒體。

7.進一步的,所述吹風裝置為風刀,所述吹風裝置還包括氣泵,所述氣泵通過氣管與所述風刀連接。

8.進一步的,所述風刀底部開設至少一條出風口,所述出風口的風向與所述硅片表面垂直。

9.進一步的,所述風刀設置于所述輸送裝置中線處。

10.進一步的,所述第一平臺遠端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設置第一被動驅(qū)動件,所述第一平臺近端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設置第一主動驅(qū)動件,所述第一主動驅(qū)動件與第一被動驅(qū)動件通過第一傳送帶傳動。

11.進一步的,所述第一被動驅(qū)動件包括兩個第一被動帶輪,所述第一主動驅(qū)動件包括設置在第一平臺內(nèi)的第一電機以及兩個第一主動帶輪,所述第一主動帶輪通過聯(lián)軸器連接第一電機的輸出端。

12.進一步的,所述第二輸送組包括第二平臺,所述第二平臺近端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設置第二被動驅(qū)動件,所述第二平臺遠端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設置第二主動驅(qū)動件,所述第二主動驅(qū)動件與第二被動驅(qū)動件通過第二傳送帶傳動。

13.進一步的,所述第二被動驅(qū)動件包括兩個第二被動帶輪,所述第二主動驅(qū)動件包

括設置在第二平臺內(nèi)的第二電機以及兩個第二主動帶輪,所述第二主動帶輪通過聯(lián)軸器連接第二電機的輸出端。

14.進一步的,所述底座與盒體之間還設置收集斗,所述收集斗上端連通第一孔,所述收集斗下端開設第二孔對準所述盒體。

15.進一步的,所述第一孔長度大于所述第一輸送組和第二輸送組之間的間隔,所述第一孔寬度大于第一輸送組和第二輸送組的寬度。

16.與現(xiàn)有技術相比,本實用新型的有益技術效果如下:

17.(一)本實用新型中,第一輸送組包括第一平臺,在第一平臺兩側(cè)設置支架,所述支架上設置風刀,所述風刀的出風口對準第一輸送組與第二輸送組間隔處,所述硅片輸送到間隔處時風刀吹風將硅片表面碎片吹落至盒體,結(jié)構簡單,碎片吹落效率高,提高了分選機分選精度。

18.(二)進一步的,風刀出風口吹出風向垂直于硅片表面,且出風口位于輸送裝置中線處,保證碎片朝硅片兩側(cè)掉落,提高碎片收集效率。

19.(三)進一步的,所述底座與盒體之間還設置收集斗,所述收集斗為漏斗狀,避免碎片掉落到地上,提高碎片收集效率。

附圖說明

20.圖1示出了本實用新型實施例一提供的一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置的正視結(jié)構示意圖。

21.圖2示出了本實用新型實施例一提供的一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置的俯視結(jié)構示意圖。

22.附圖中標記:

23.1、第一輸送組;11、第一平臺;111、第一電機;112、第一主動帶輪;113、第一被動帶輪;114、第一傳送帶;12、支架;2、第二輸送組;21、第二平臺;211、第二電機;212、第二主動帶輪;213、第二被動帶輪;214、第二傳送帶;3、底座;31、第一孔;4、收集斗;41、第二孔;5、盒體;6、吹風裝置;61、風刀;611、出風口;7、氣泵;71、氣管。

具體實施方式

24.為了使本實用新型的目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂,請參閱附圖。須知,本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構、比例、大小等,均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容,以供熟悉此技術的人士了解與閱讀,并非用以限定本實用新型實施的限定條件,故不具技術上的實質(zhì)意義,任何結(jié)構的修飾、比例關系的改變或大小的調(diào)整,在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達成的目的下,均應仍落在本實用新型所揭示的技術內(nèi)容能涵蓋的范圍內(nèi)。

25.在本實用新型的描述中,限定術語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”、“軸向”、“徑向”、“周向”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系,僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作,因此不能理解為對本實用新型的限制。

26.為了更加清楚地描述上述一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置的結(jié)構,本實用

新型限定術語“遠端”和“近端”,具體而言,“遠端”表示遠離硅片來料的一端,“近端”表示靠近硅片來料的一端,以圖1為例,圖1中第二輸送組2的左側(cè)為近端,圖1中第二輸送組2的右側(cè)為遠端。

27.實施例一

28.請參考圖1,一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置,包括硅片、底座3以及用于輸送所述硅片的輸送線,所述輸送線設置在所述底座3上,所述輸送線包括第一輸送組1和第二輸送組2,所述第一輸送組1遠端和第二輸送組2近端具有間隔,所述底座3對應間隔處開設第一孔31,所述第一孔31下方設置盒體5,所述第一輸送組1包括第一平臺11,所述第一平臺11兩側(cè)設置支架12,所述支架12上設置吹風裝置6,所述吹風裝置6的出風口611對準所述間隔處,所述硅片輸送到間隔處時吹風裝置6吹風將硅片表面碎片吹落至盒體5。

29.下面描述所述吹風裝置6的具體結(jié)構如下:

30.請參考圖1和圖2,進一步的,所述吹風裝置6為風刀61,所述風刀61近端連接支架12,所述吹風裝置6還包括氣泵7,氣泵7放置在地面即可,所述氣泵7通過氣管71與所述風刀61連接。

31.請參考圖2,進一步的,所述風刀61底部開設一條出風口611,所述出風口611的風向與所述硅片表面垂直。請參考圖2,進一步的,所述風刀61設置于所述輸送裝置中線處,使出風口611的風剛好吹在硅片的中間,使碎片向硅片兩側(cè)吹飛。

32.下面描述所述第一輸送組1和第二輸送組2的具體結(jié)構如下:

33.請參考圖1和圖2,進一步的,所述第一平臺11遠端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設置第一被動驅(qū)動件,所述第一平臺11近端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設置第一主動驅(qū)動件,所述第一主動驅(qū)動件與第一被動驅(qū)動件通過第一傳送帶114傳動。

34.請參考圖1和圖2,進一步的,所述第一被動驅(qū)動件包括兩個第一被動帶輪113,所述第一被動帶輪113通過第一轉(zhuǎn)軸連接,所述第一主動驅(qū)動件包括設置在第一平臺11內(nèi)的第一電機111以及兩個第一主動帶輪112,所述第一主動帶輪112通過聯(lián)軸器連接第一電機111的輸出端。

35.請參考圖1和圖2,進一步的,所述第二輸送組2包括第二平臺21,所述第二平臺21近端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設置第二被動驅(qū)動件,所述第二平臺21遠端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設置第二主動驅(qū)動件,所述第二主動驅(qū)動件與第二被動驅(qū)動件通過第二傳送帶214傳動。

36.請參考圖1和圖2,進一步的,所述第二被動驅(qū)動件包括兩個第二被動帶輪213,所述第二被動帶輪213通過第二轉(zhuǎn)軸連接,所述第二主動驅(qū)動件包括設置在第二平臺21內(nèi)的第二電機211以及兩個第二主動帶輪212,所述第二主動帶輪212通過聯(lián)軸器連接第二電機211的輸出端。

37.請參考圖1和圖2,進一步的,所述底座3與盒體5之間還設置收集斗4,所述收集斗4為漏斗狀,所述收集斗4上端開口與第一孔31大小相同,所述收集斗4下端開設第二孔41對準所述盒體5,所述盒體5頂端開口大于第二孔41,使碎片能夠從收集斗4落入盒體5中。

38.請參考圖1,進一步的,所述第一孔31長度大于所述第一輸送組1和第二輸送組2之間的間隔,所述第一孔31寬度大于第一輸送組1和第二輸送組2的寬度,使碎片能夠從硅片表面吹落入第一孔31中。進一步的,所述第一輸送組1和第二輸送組2之間的間隔遠小于所述硅片的尺寸,因此吹片時硅片不會從間隔中掉落。

39.本實用新型的具體工作流程如下:

40.第一電機111帶動第一主動帶輪112轉(zhuǎn)動,第一主動帶輪112通過第一傳送帶114帶動第一被動帶輪113轉(zhuǎn)動,硅片通過第一傳送帶114來到吹風裝置6下方。風刀61的出風口611對準硅片中間吹氣,將硅片上碎片吹至兩側(cè)并掉落,碎片通過底座3的第一孔31進入收集斗4中,再通過收集斗4底部的第二孔41進入盒體5。

41.第二電機211帶動第二主動帶輪212轉(zhuǎn)動,第二主動帶輪212通過第二傳送帶214帶動第二被動帶輪213轉(zhuǎn)動,硅片通過第二傳送帶214離開。

42.以上所述實施例的各技術特征可以進行任意的組合,為使描述簡潔,未對上述實施例中的各個技術特征所有可能的組合都進行描述,然而,只要這些技術特征的組合不存在矛盾,都應當認為是本說明書記載的范圍。

43.以上所述實施例僅表達了本實用新型的幾種實施方式,其描述較為具體和詳細,但并不能因此而理解為對實用新型專利范圍的限制。應當指出的是,對于本領域的普通技術人員來說,在不脫離本實用新型構思的前提下,還可以做出若干變形和改進,這些都屬于本實用新型的保護范圍。因此,本實用新型專利的保護范圍應以所附權利要求為準。技術特征:

1.一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置,包括硅片、底座以及用于輸送所述硅片的輸送線,所述輸送線設置在所述底座上,其特征在于:所述輸送線包括第一輸送組和第二輸送組,所述第一輸送組遠端和第二輸送組近端具有間隔,所述底座對應間隔處開設第一孔,所述第一孔下方設置盒體,所述第一輸送組包括第一平臺,所述第一平臺兩側(cè)設置支架,所述支架上設置吹風裝置,所述吹風裝置的出風口對準所述間隔處,所述硅片輸送到間隔處時吹風裝置吹風將硅片表面碎片吹落至盒體。2.如權利要求1所述的一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置,其特征在于:所述吹風裝置為風刀,所述吹風裝置還包括氣泵,所述氣泵通過氣管與所述風刀連接。3.如權利要求2所述的一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置,其特征在于:所述風刀底部開設至少一條出風口,所述出風口的風向與所述硅片表面垂直。4.如權利要求2所述的一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置,其特征在于:所述風刀設置于所述輸送裝置中線處。5.如權利要求1所述的一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置,其特征在于:所述第一平臺遠端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設置第一被動驅(qū)動件,所述第一平臺近端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設置第一主動驅(qū)動件,所述第一主動驅(qū)動件與第一被動驅(qū)動件通過第一傳送帶傳動。6.如權利要求5所述的一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置,其特征在于:所述第一被動驅(qū)動件包括兩個第一被動帶輪,所述第一主動驅(qū)動件包括設置在第一平臺內(nèi)的第一電機以及兩個第一主動帶輪,所述第一主動帶輪通過聯(lián)軸器連接第一電機的輸出端。7.如權利要求1所述的一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置,其特征在于:所述第二輸送組包括第二平臺,所述第二平臺近端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設置第二被動驅(qū)動件,所述第二平臺遠端兩側(cè)可旋轉(zhuǎn)的設置第二主動驅(qū)動件,所述第二主動驅(qū)動件與第二被動驅(qū)動件通過第二傳送帶傳動。8.如權利要求7所述的一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置,其特征在于:所述第二被動驅(qū)動件包括兩個第二被動帶輪,所述第二主動驅(qū)動件包括設置在第二平臺內(nèi)的第二電機以及兩個第二主動帶輪,所述第二主動帶輪通過聯(lián)軸器連接第二電機的輸出端。9.如權利要求1所述的一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置,其特征在于:所述底座與盒體之間還設置收集斗,所述收集斗上端連通第一孔,所述收集斗下端開設第二孔對準所述盒體。10.如權利要求1所述的一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置,其特征在于:所述第一孔長度大于所述第一輸送組和第二輸送組之間的間隔,所述第一孔寬度大于第一輸送組和第二輸送組的寬度。

技術總結(jié)

本實用新型涉及一種用于分選機的高精度硅片輸送裝置,包括硅片、底座以及用于輸送所述硅片的輸送線,所述輸送線設置在所述底座上,所述輸送線包括第一輸送組和第二輸送組,所述第一輸送組遠端和第二輸送組近端具有間隔,所述底座對應間隔處開設第一孔,所述第一孔下方設置盒體,所述第一輸送組包括第一平臺,所述第一平臺兩側(cè)設置支架,所述支架上設置吹風裝置,所述吹風裝置的出風口對準所述間隔處,所述硅片輸送到間隔處時吹風裝置吹風將硅片表面碎片吹落至盒體,結(jié)構簡單,碎片吹落效率高。效率高。效率高。

技術研發(fā)人員:章祥靜 周裕吉

受保護的技術使用者:無錫京運通科技有限公司

技術研發(fā)日:2022.08.25

技術公布日:2023/1/3
聲明:
“用于分選機的高精度硅片輸送裝置的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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