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化學(xué)氣相沉積金剛石或其它物質(zhì)的裝置

913   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:03:01
本發(fā)明提供了一種化學(xué)氣相沉積金剛石或其它物質(zhì)的裝置,涉及功能材料制備技術(shù)領(lǐng)域。本裝置包括直流電弧噴射等離子炬,真空室,襯底,在真空室和等離子炬間設(shè)有氣體回用機(jī)構(gòu)。與已有技術(shù)對比,本發(fā)明很好地解決了現(xiàn)有技術(shù)利用直流電弧噴射法化學(xué)氣相沉積金剛石過程中長期存在的氣體消耗量大的問題,其結(jié)構(gòu)簡單,工藝合理,不僅能保證產(chǎn)品的質(zhì)量,而且可大大節(jié)省工質(zhì)氣體用量,大大降低成本,減少排放,有利于環(huán)保,具有良好的經(jīng)濟(jì)效益和社會效益。
聲明:
“化學(xué)氣相沉積金剛石或其它物質(zhì)的裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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