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利用飛秒激光雙光子制備導電材料的方法

1036   編輯：管理員   來源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:31
一種利用飛秒激光雙光子制備導電材料的方法,涉及導電材料加工技術(shù)領(lǐng)域。其包括:a)步,使用的光源為藍光飛秒激光,產(chǎn)生的方法為:將波長在750～850nm、脈沖寬度在60～100fs的飛秒激光,經(jīng)倍頻后形成藍光375～425nm的飛秒光;或使用其它直接產(chǎn)生藍光的飛秒激光作為加工的光源。b)步,把藍光375～425nm的飛秒光經(jīng)透鏡聚焦到所要加工的非導電材料上;c)步,通過計算機控制樣品位置或激光焦點照射在非導電材料內(nèi)的位置,使激光與材料發(fā)生相互作用,發(fā)生雙光子吸收,在曝光的位置形成導電的功能材料。本發(fā)明較之現(xiàn)有MEMS微型電子器件的加工方法,具有真三維、高分辨、導電性、一次性加工等特點。
聲明：
“利用飛秒激光雙光子制備導電材料的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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