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低介電常數(shù)α?Si3N4多孔陶瓷的制備方法

729   編輯：管理員   來源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 15:02:03
本發(fā)明公開了一種低介電常數(shù)α?Si3N4多孔陶瓷的制備方法，按照如下步驟進(jìn)行：a、以稻殼為原料，制備得到碳硅質(zhì)前驅(qū)體，再添加α?Si3N4粉體、燒結(jié)助劑，組成陶瓷原料；b、將凝膠物質(zhì)和分散劑分散在去離子水中，與上述陶瓷原料混合，球磨4?8h后取出，真空除泡10?30min，形成漿料；然后水浴加熱至40?80℃，使?jié){料中的凝膠物質(zhì)完全溶解，其中漿料的固相含量為35?60％；c、將上述料漿注入預(yù)熱的模具中，進(jìn)行注凝成型，脫模干燥，得到坯體；最后燒結(jié)自然冷卻至室溫，即獲得低介電常數(shù)α?Si3N4多孔陶瓷。
聲明：
“低介電常數(shù)α?Si3N4多孔陶瓷的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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