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高純磷烷規(guī)?；B續(xù)生產(chǎn)方法和裝置的研制

875   編輯：管理員   來(lái)源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:59:02
本發(fā)明是一種制備高純磷烷規(guī)?；B續(xù)生產(chǎn)方法和裝置的研制，屬于電子氣體制備純化技術(shù)領(lǐng)域；該方法包括步驟(1)、粗制磷烷的制備過(guò)程：先用亞磷酸加熱反應(yīng)得到粗制磷烷；和(2)、高純磷烷的純化過(guò)程：對(duì)粗制磷烷采用液氮冷阱低溫真空分離、分子篩吸附干燥和鎵?銦合金深吸附脫水、氧。本發(fā)明所述的方法能深度脫除氧、水和碳?xì)浠衔锏入娮硬牧现杏泻﹄s質(zhì)，一般可以達(dá)到0.01～0.1ppm以下；純化劑主體鎵?銦合金可以反復(fù)使用，使用壽命除化學(xué)處理稍許損失外，理論上具有很長(zhǎng)的使用壽命。
聲明：
“高純磷烷規(guī)模化連續(xù)生產(chǎn)方法和裝置的研制” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究，如用于商業(yè)用途，請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)
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