本發(fā)明公開了一種大尺寸鉬鈮靶材的制備方法,采用獨特的球磨工藝,球磨機內襯材料與磨球均為鉬或鈮為母體的合金,引入的雜質很少,可保證靶材的高純度;經球磨、真空燒結使粉末粒度均勻,燒結組織均勻,包套處理防止了鉬鈮靶材氧化或者氫化而生成脆性相,保證了鉬鈮合金的可塑性,解決了低成本大尺寸鉬鈮靶材的難題。本發(fā)明的效果和益處是在制造成本、產品性能、規(guī)模化生產和環(huán)境友好等方面都展現(xiàn)出顯著的競爭優(yōu)勢和利潤空間。
聲明:
“大尺寸鉬鈮靶材的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)