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高致密低電阻氧化鈮旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法

1082   編輯：管理員   來(lái)源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:58:54
一種高致密低電阻氧化鈮旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法，該靶材密度≥4.5g/cm3，電阻率≤1.4×10?3Ω·cm，長(zhǎng)度≥400mm，壁厚6—14mm。制備方法包括以下步驟：1）粉末混合：將氧化鈮粉末與金屬鈮粉進(jìn)行機(jī)械混合均勻；2）粉末預(yù)燒：對(duì)步驟1）中混合后粉末進(jìn)行真空預(yù)燒；3）粉末處理：對(duì)預(yù)燒粉末進(jìn)行球磨處理；4）冷等靜壓成型：對(duì)處理粉末裝入模具中冷等靜壓預(yù)壓成型旋轉(zhuǎn)靶材坯體；5）坯體車削加工：對(duì)靶材坯體進(jìn)行車削加工；6）真空熱壓燒結(jié)：對(duì)加工坯體置入石墨模具中進(jìn)行熱壓真空燒結(jié)；7）靶坯加工：對(duì)燒結(jié)旋轉(zhuǎn)靶材靶坯按尺寸加工，即得到高致密低電阻旋轉(zhuǎn)氧化鈮靶材。該靶材導(dǎo)電性較好，具有較好的物理和化學(xué)性能，有效提高靶材產(chǎn)品質(zhì)量。
聲明：
“高致密低電阻氧化鈮旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究，如用于商業(yè)用途，請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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