本發(fā)明公開了一種高精度薄膜壓力傳感器,包括圓形膜片,支撐座,彈性體,傳力柱和外殼,其特征在于:彈性體是采用濺射薄膜技術(shù)制造的,當(dāng)所述圓形膜片受到壓力作用時,均勻分布的壓力通過所述傳力柱集中并傳遞到所述彈性體的中心梁上,彈性體上的四個應(yīng)變電阻阻值發(fā)生變化,惠斯電橋失去平衡。由于將分散力集中作用在彈性體上,傳感器的靈敏度系數(shù)提高,非線性誤差減小,傳感器綜合精度得到提高。另外,受力膜片與彈性體之間通過傳力柱接觸,彈性體對溫度的敏感性降低,傳感器能在更低溫或更高溫的環(huán)境下工作,拓展了傳感器的工作溫度范圍。產(chǎn)品在軍工、機(jī)械、石化、汽車、食品、制藥、冶金等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
聲明:
“高精度薄膜壓力傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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