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高溫封裝用Sn/Cu/Sn冷壓預(yù)制片的制備方法

626   編輯：管理員   來源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:46:18
一種高溫封裝用Sn/Cu/Sn冷壓預(yù)制片的制備方法，涉及半導(dǎo)體器件封裝互連。包括以下步驟：1)一個(gè)制備Sn/Cu/Sn冷壓金屬箔的步驟；2)一個(gè)加工Sn/Cu/Sn冷壓預(yù)制片的步驟；3)一個(gè)Sn/Cu/Sn冷壓預(yù)制片與Cu基焊盤冶金互連的步驟。原材料價(jià)格低廉、加工工藝簡(jiǎn)單、對(duì)設(shè)備要求低、方便存儲(chǔ)運(yùn)輸、材料加工性好、便于批量制造?？啥虝r(shí)間內(nèi)在低溫下形成耐高溫?zé)o鉛焊點(diǎn)，完全避免了高溫、長(zhǎng)時(shí)間的回流過程對(duì)芯片可靠性造成的不利影響及對(duì)能源的浪費(fèi)?；ミB原理簡(jiǎn)單、對(duì)準(zhǔn)精度高、互連缺陷少；可解決高溫半導(dǎo)體器件中大互連間隙無鉛耐高溫焊點(diǎn)難以快速制造的技術(shù)瓶頸。
聲明：
“高溫封裝用Sn/Cu/Sn冷壓預(yù)制片的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究，如用于商業(yè)用途，請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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