權(quán)利要求書： 1.一種單晶爐排氣管道，包括固定連接的連接管(1)和豎直管(2)，其特征在于：所述連接管(1)和豎直管(2)的側(cè)壁分別開設(shè)有第一通孔(5)和第二通孔(6)，所述連接管(1)和豎直管(2)的外側(cè)壁分別裝配有第一保護(hù)組件(3)和第二保護(hù)組件(4)，所述豎直管(2)的底端通過固定螺栓(7)固定裝配有封蓋(8)，所述豎直管(2)的頂端通過固定螺絲(10)固定裝配有端蓋(9)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐排氣管道，其特征在于：所述第一保護(hù)組件(3)包括第一安裝座(31)，所述第一安裝座(31)一體成型于連接管(1)的側(cè)壁，所述第一安裝座(31)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一保護(hù)罩(32)，所述第一保護(hù)罩(32)的側(cè)壁均勻開設(shè)有第一連接孔(33)，所述第一保護(hù)罩(32)的兩端分別開設(shè)有第一卡槽(34)，所述第一安裝座(31)的頂部插接有貫穿至第一卡槽(34)內(nèi)的第一卡銷(35)，所述第一保護(hù)罩(32)的側(cè)壁固定連接有第一固定板(36)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐排氣管道，其特征在于：所述第二保護(hù)組件(4)包括第二安裝座(41)，所述第二安裝座(41)一體成型于豎直管(2)的側(cè)壁，所述第二安裝座(41)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二保護(hù)罩(42)，所述第二保護(hù)罩(42)的側(cè)壁開設(shè)有第二連接孔(43)，所述第二保護(hù)罩(42)的頂部開設(shè)有第二卡槽(44)，所述第二安裝座(41)的頂部插接有貫穿至第二卡槽(44)內(nèi)的第二卡銷(45)，所述第二保護(hù)罩(42)的側(cè)壁固定連接有第二固定板(46)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐排氣管道，其特征在于：所述第一通孔(5)均勻開設(shè)在連接管(1)的頂部側(cè)壁，所述第二通孔(6)呈軸對(duì)稱均勻開設(shè)在豎直管(2)的側(cè)壁。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐排氣管道，其特征在于：所述端蓋(9)包括底座(91)，所述底座(91)通過固定螺絲(10)與豎直管(2)的頂端相固定連接，所述底座(91)的頂部通過支撐軸(92)固定連接有頂部固定座(93)，所述頂部固定座(93)的頂部裝配有頂部蓋體(94)，所述頂部蓋體(94)的底部固定連接有貫穿至支撐軸(92)內(nèi)腔的伸縮軸(95)。
說明書： 一種單晶爐排氣管道技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及單晶爐技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種單晶爐排氣管道。背景技術(shù)[0002] 單晶爐是一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為?環(huán)境中,用石墨加熱器將
多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。而排氣管道又是單晶爐內(nèi)的重要組成部分，現(xiàn)有的排氣管道在單晶爐加工完成后需要進(jìn)行清潔處理，而單晶爐在加工完成后排氣管道內(nèi)的溫度較高，導(dǎo)致一些殘留的化學(xué)物質(zhì)形成易爆炸的氣體，若是直接對(duì)排氣管道內(nèi)進(jìn)行清潔處理，很容易發(fā)生意外，對(duì)操作人員的人身安全造成危害。為此，我們提出一種單晶爐排氣管道。實(shí)用新型內(nèi)容
[0003] 本實(shí)用新型的目的在于提供一種單晶爐排氣管道，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。[0004] 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種單晶爐排氣管道，包括固定連接的連接管和豎直管，所述連接管和豎直管的側(cè)壁分別開設(shè)有第一通孔和第二通孔，所述連接管和豎直管的外側(cè)壁分別裝配有第一保護(hù)組件和第二保護(hù)組件，所述豎直管的底端通過固定螺栓固定裝配有封蓋，所述豎直管的頂端通過固定螺絲固定裝配有端蓋。[0005] 優(yōu)選的，所述第一保護(hù)組件包括第一安裝座，所述第一安裝座一體成型于連接管的側(cè)壁，所述第一安裝座內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一保護(hù)罩，所述第一保護(hù)罩的側(cè)壁均勻開設(shè)有第一連接孔，所述第一保護(hù)罩的兩端分別開設(shè)有第一卡槽，所述第一安裝座的頂部插接有貫穿至第一卡槽內(nèi)的第一卡銷，所述第一保護(hù)罩的側(cè)壁固定連接有第一固定板。[0006] 優(yōu)選的，所述第二保護(hù)組件包括第二安裝座，所述第二安裝座一體成型于豎直管的側(cè)壁，所述第二安裝座內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二保護(hù)罩，所述第二保護(hù)罩的側(cè)壁開設(shè)有第二連接孔，所述第二保護(hù)罩的頂部開設(shè)有第二卡槽，所述第二安裝座的頂部插接有貫穿至第二卡槽內(nèi)的第二卡銷，所述第二保護(hù)罩的側(cè)壁固定連接有第二固定板。[0007] 優(yōu)選的，所述第一通孔均勻開設(shè)在連接管的頂部側(cè)壁，所述第二通孔呈軸對(duì)稱均勻開設(shè)在豎直管的側(cè)壁。[0008] 優(yōu)選的，所述端蓋包括底座，所述底座通過固定螺絲與豎直管的頂端相固定連接，所述底座的頂部通過支撐軸固定連接有頂部固定座，所述頂部固定座的頂部裝配有頂部蓋體，所述頂部蓋體的底部固定連接有貫穿至支撐軸內(nèi)腔的伸縮軸。[0009] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：一種單晶爐排氣管道，將連接管與豎直管組成排氣管道，分別在連接管和豎直管的側(cè)壁開設(shè)有第一通孔和第二通孔，在單晶爐進(jìn)行使用時(shí)，通過第一保護(hù)組件和第二保護(hù)組件增加連接管與豎直管的整體強(qiáng)度的同時(shí)，第一保護(hù)組件和第二保護(hù)組件也可以控制第一通孔和第二通孔的開啟與關(guān)閉，單晶爐使用完成后通過開啟第一通孔和第二通孔，使外部的空氣進(jìn)入到連接管與豎直管內(nèi)，對(duì)其內(nèi)部的易爆炸氣體進(jìn)行氧化，便于后續(xù)操作人員對(duì)連接管與豎直管內(nèi)腔的清潔，減少安全隱患。附圖說明[0010] 圖1為本實(shí)用新型的立體圖。[0011] 圖2為本實(shí)用新型第一通孔和第二通孔封閉的結(jié)構(gòu)示意圖。[0012] 圖3為本實(shí)用新型第一通孔和第二通孔開啟的結(jié)構(gòu)示意圖。[0013] 圖4為圖3中的a處細(xì)節(jié)圖。[0014] 圖5為圖3中的b處細(xì)節(jié)圖。[0015] 圖中：1、連接管，2、豎直管，3、第一保護(hù)組件，31、第一安裝座，32、第一保護(hù)罩，33、第一連接孔，34、第一卡槽，35、第一卡銷，36、第一固定板，4、第二保護(hù)組件，41、第二安裝座，42、第二保護(hù)罩，43、第二連接孔，44、第二卡槽，45、第二卡銷，46、第二固定板，5、第一通孔，6、第二通孔，7、固定螺栓，8、封蓋，9、端蓋，91、底座，92、支撐軸，93、頂部固定座，94、頂部蓋體，95、伸縮軸，10、固定螺絲。具體實(shí)施方式[0016] 下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。[0017] 請(qǐng)參閱圖1、圖2、圖3、圖4和圖5，本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案：一種單晶爐排氣管道，包括連接管1和豎直管2，連接管1與豎直管2相互連通，連接管1和豎直管2分別裝配有第一保護(hù)組件3和第二保護(hù)組件4，通過設(shè)置第一保護(hù)組件3和第二保護(hù)組件4加強(qiáng)連接管1和豎直管2的整體強(qiáng)度，加強(qiáng)連接管1和豎直管2在使用過程中的穩(wěn)定性。[0018] 連接管1的頂部側(cè)壁均勻開設(shè)有第一通孔5，豎直管2的側(cè)壁呈左、右對(duì)稱開設(shè)有第二通孔6，通過第一保護(hù)組件3和第二保護(hù)組件4分別對(duì)第一通孔5和第二通孔6的開啟與關(guān)閉進(jìn)行控制，在單晶爐使用的過程中，第一保護(hù)組件3和第二保護(hù)組件4分別對(duì)第一通孔5和第二通孔6進(jìn)行封閉，保證其整體的密閉性，在單晶爐使用完成后，由于連接管1與豎直管2所組成的排氣管內(nèi)的溫度較高，其內(nèi)部還會(huì)殘留例如一氧化硅、磷等氣態(tài)物質(zhì)，若是直接對(duì)連接管1和豎直管2進(jìn)行清理，非常容易發(fā)生爆炸，對(duì)操作人員造成危害，故在清理前調(diào)節(jié)第一保護(hù)組件3和第二保護(hù)組件4，分別使第一通孔5和第二通孔6開啟，外部的空氣緩慢進(jìn)入到連接管1和豎直管2內(nèi)與其內(nèi)部的易燃?xì)怏w發(fā)生氧化，便于操作人員后續(xù)對(duì)連接管1和豎直管2內(nèi)的清潔。[0019] 第一保護(hù)組件3包括第一安裝座31，第一安裝座31一體成型于連接管1的側(cè)壁，第一安裝座31呈兩部分設(shè)置，在兩部分的第一安裝座31之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一保護(hù)罩32，第一保護(hù)罩32的側(cè)壁均勻開設(shè)有與第一通孔5位置相對(duì)應(yīng)的第一連接孔33，且第一保護(hù)罩32的兩端分別開設(shè)有呈軸對(duì)稱設(shè)置的第一卡槽34，第一安裝座31的側(cè)壁插接有貫穿至第一卡槽34內(nèi)的第一卡銷35，第一卡銷35的頂部設(shè)置有固定環(huán)，通過設(shè)置固定環(huán)便于對(duì)第一卡銷35與第一安裝座31進(jìn)行連接與拆卸，通過第一卡銷35對(duì)第一保護(hù)罩32的角度進(jìn)行固定，控制第一連接孔33與第一通孔5是否連通，第一保護(hù)罩32的側(cè)壁一體成型有第一固定板36，通過設(shè)置第一固定板36便于對(duì)第一保護(hù)罩32進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0020] 第二保護(hù)組件4包括第二安裝座41，第二安裝座41一體成型于豎直管2的外側(cè)壁，第二安裝座41同樣呈兩部分設(shè)置，兩部分的第二安裝座41呈上、下對(duì)稱分布，第二保護(hù)罩42轉(zhuǎn)動(dòng)連接于第二安裝座41之間，第二保護(hù)罩42的側(cè)壁開設(shè)有呈軸對(duì)稱分布的位置與第二通孔6相對(duì)應(yīng)的第二連接孔43，第一保護(hù)罩32和第二保護(hù)罩42均采用石墨材料制作，具有較強(qiáng)的耐高溫性能，第二連接孔43以及第二通孔6的數(shù)量多于第一連接孔33和第一通孔5的數(shù)量，可以加速對(duì)豎直管2以及連接管1內(nèi)的易爆炸氣體的氧化效率，第二保護(hù)罩42的頂部以其軸心處均勻分布有四個(gè)第二卡槽44，第二安裝座41的頂部呈軸對(duì)稱插接有兩個(gè)第二卡銷45，第二卡銷45插接至第二卡槽44內(nèi)對(duì)第二保護(hù)罩42的角度進(jìn)行固定，第二保護(hù)罩42的側(cè)壁同樣一體成型有用于進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)的第二固定板46。
[0021] 豎直管2的底部通過固定螺栓7固定裝配有封蓋8，封蓋8用于對(duì)豎直管2的底部進(jìn)行封閉，通過對(duì)封蓋8的拆卸便于對(duì)豎直管2內(nèi)進(jìn)行清理。[0022] 豎直管2的頂部通過固定螺絲10裝配有端蓋9，端蓋9可以用于氣體的排放，同時(shí)端蓋9也可以在單晶爐內(nèi)發(fā)生滲水漏水等異常導(dǎo)致氣壓突然增大時(shí)，加大對(duì)氣體的排放量，完成泄壓。[0023] 端蓋9包括底座91，底座91用于與豎直管2進(jìn)行連接固定，底座91的頂部通過支撐軸92固定連接有頂部固定座93，頂部固定座93內(nèi)裝配有頂部蓋體94，頂部蓋體94的底部固定連接有貫穿至支撐軸92內(nèi)腔的伸縮軸95，通過支撐軸92之間的空間進(jìn)行氣體的流通，在需要對(duì)豎直管2和連接管1內(nèi)進(jìn)行泄壓時(shí)，氣壓向上頂出頂部蓋體94，使頂部蓋體94不再對(duì)頂部固定座93進(jìn)行封閉，加大氣體的流量，便于泄壓，端蓋9整體采用防爆鋼材制作，具有較強(qiáng)的防爆性能。[0024] 工作原理：在使用的過程中將本實(shí)用新型的連接管1與單晶爐的爐體進(jìn)行連接，在單晶爐進(jìn)行生產(chǎn)的過程中，通過連接管1與豎直管2完成氣體的向外排放，生產(chǎn)完畢后，通過爐鉗等工具將第一卡銷35和第二卡銷45分別向上拉起，然后控制第一保護(hù)罩32和第二保護(hù)罩42轉(zhuǎn)動(dòng)，使第一通孔5、第二通孔6分別與第一連接孔33和第二連接孔43相連通，使外部的空氣進(jìn)入到連接管1和豎直管2內(nèi)對(duì)其內(nèi)部的氣體進(jìn)行氧化，完成對(duì)其內(nèi)部的易爆炸氣體的稀釋后，打開底部的封蓋8，對(duì)連接管1以及豎直管2的內(nèi)部進(jìn)行清潔。
聲明：
“單晶爐排氣管道” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究，如用于商業(yè)用途，請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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編輯：中冶有色技術(shù)網(wǎng)
來源：遼寧博芯科半導(dǎo)體材料有限公司
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