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硅片級劃片槽的封裝方法

801   編輯：管理員   來源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 09:02:33
本發(fā)明公開了一種硅片級劃片槽的封裝方法，包括：將在晶圓的芯片的陣列中工藝監(jiān)控圖形一分為二，將一分為二所述的工藝監(jiān)控圖形分別放入到劃片槽的兩側(cè)，再通過劃片機在劃片槽內(nèi)進行封裝劃片，使裂片易于被發(fā)現(xiàn)，降低終端使用時失效的概率，晶圓在進行硅片級封裝產(chǎn)品加工過程中，相鄰的兩顆芯片之間形成一劃片槽，設(shè)計方法進一步包括。本發(fā)明解決了現(xiàn)有的在最終封裝劃片的時候容易造成芯片裂片，硅片級封裝產(chǎn)品是測試后再劃片，由于劃片后沒有終測，目前的劃片槽結(jié)構(gòu)中由于存在工藝監(jiān)控用的圖形，往往會造成劃片過程中的裂片，裂片很難被發(fā)現(xiàn)，在終端使用時候會有一定概率失效的問題。
聲明：
“硅片級劃片槽的封裝方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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