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二維硫化鉬/硫化銦橫向異質(zhì)結(jié)及其制備方法和應(yīng)用

619   編輯：管理員   來(lái)源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:56:36
本發(fā)明屬于二維材料異質(zhì)結(jié)光探測(cè)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種二維硫化鉬/硫化銦橫向異質(zhì)結(jié)及其制備方法和應(yīng)用。該二維硫化鉬/硫化銦橫向異質(zhì)結(jié)是通過(guò)化學(xué)氣相沉積法先將二氧化硅片平放在三氧化鉬粉末的上方，置于管式爐的中間，將升華硫粉末放置在管式爐氣流上游；在氮?dú)鈿夥障?，升溫?80～800℃保溫，在二氧化硅襯底上制得單層二維硫化鉬單晶，通過(guò)濕法將單層二硫化鉬轉(zhuǎn)移至云母片上；然后將云母片平放在三硫化二銦粉末的上方，放置在管式爐中間；升溫至750～980℃保溫，自然冷卻制得。本發(fā)明方法簡(jiǎn)單，反應(yīng)條件易于控制，生長(zhǎng)的二維異質(zhì)結(jié)穩(wěn)定，該異質(zhì)結(jié)經(jīng)過(guò)光刻，顯影等步驟后，可成功在異質(zhì)結(jié)兩端搭建電極，具有良好的光探測(cè)應(yīng)用前景。
聲明：
“二維硫化鉬/硫化銦橫向異質(zhì)結(jié)及其制備方法和應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究，如用于商業(yè)用途，請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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