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靜態(tài)存儲器的在線失效分析方法及在線電子束檢測設備

1013   編輯：管理員   來源：中冶有色技術網(wǎng)  
2023-03-19 06:26:14
本發(fā)明提供了一種靜態(tài)存儲器的在線失效分析方法和在線電子束檢測設備，包括：將不同類型的探針安裝到在線電子束檢測設備的腔體中；將晶圓置于在線電子束檢測設備的腔體中；利用在線電子束檢測設備對接觸孔進行掃描并獲得靜態(tài)存儲器中接觸孔的圖像信息；根據(jù)接觸孔的圖像信息找出產(chǎn)生缺陷的接觸孔；根據(jù)產(chǎn)生缺陷的接觸孔的類型來選擇與之相對應的探針；在線電子束檢測設備控制所選擇的探針與相應的產(chǎn)生缺陷的接觸孔相接觸，并進行電性能檢測；根據(jù)產(chǎn)生缺陷的接觸孔在靜態(tài)存儲器單元中的功能，在線電子束檢測設備將探針進行組合來檢測功能并進行失效分析；檢測到功能失效，則產(chǎn)生缺陷的接觸孔是導致靜態(tài)存儲器失效的原因。
聲明：
“靜態(tài)存儲器的在線失效分析方法及在線電子束檢測設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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