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半導(dǎo)體器件的性能檢測方法和檢測模型的建立方法

685   編輯：管理員   來源：中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 06:19:35
本申請公開了半導(dǎo)體器件的性能檢測方法和檢測模型的建立方法，半導(dǎo)體器件的性能檢測方法包括步驟：將待測半導(dǎo)體器件的溝道尺寸輸入到檢測模型中；所述檢測模型根據(jù)所述待測半導(dǎo)體器件的溝道尺寸，將所述待測半導(dǎo)體器件對應(yīng)到由多個點模型構(gòu)成的塊模型區(qū)中；所述檢測模型將所述塊模型區(qū)中多個點模型的溝道尺寸和器件特性輸入到差值公式中，形成聯(lián)立方程式，并通過所述聯(lián)立方程式得出所述待測半導(dǎo)體器件的關(guān)系參數(shù)；所述檢測模型將所述待測半導(dǎo)體器件的關(guān)系參數(shù)和溝道尺寸代入到差值公式中，得到所述待測半導(dǎo)體器件的器件特性，并輸出所述器件特性作為檢測結(jié)果。通過上述檢測方法可以準(zhǔn)確地檢測出半導(dǎo)體器件的器件特性，且節(jié)省了時間和成本。
聲明：
“半導(dǎo)體器件的性能檢測方法和檢測模型的建立方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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