權(quán)利要求書(shū): 1.一種雙軌高產(chǎn)能晶硅
電池片抗光衰退火爐設(shè)備,包括機(jī)體(1),所述機(jī)體(1)的內(nèi)底部固定有多個(gè)升降桿(2),所述升降桿(2)的升降輸出端固定有退火處理托盤(pán)(3),所述退火處理托盤(pán)(3)上固定有兩組電動(dòng)輸送滑軌(4),所述機(jī)體(1)內(nèi)部固定有多個(gè)均勻分布的加熱單元(5),其特征在于:所述機(jī)體(1)的外壁上固定有
鼓風(fēng)機(jī)(6),所述鼓風(fēng)機(jī)(6)的出風(fēng)口連接有輸氣管(7),所述退火處理托盤(pán)(3)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有空腔(8),所述輸氣管(7)與空腔(8)內(nèi)部相連通,所述退火處理托盤(pán)(3)的上表面開(kāi)設(shè)有多個(gè)均勻分布的出風(fēng)孔(9),所述出風(fēng)孔(9)為喇叭形結(jié)構(gòu),所述退火處理托盤(pán)(3)的上側(cè)設(shè)有冷卻水管(10),且冷卻水管(10)與出風(fēng)孔(9)對(duì)應(yīng)設(shè)置,所述冷卻水管(10)通過(guò)U形緊固件固定在機(jī)體(1)內(nèi)壁上,所述冷卻水管(10)的兩端分別連接有進(jìn)水管(11)和出水管(12),所述進(jìn)水管(11)和出水管(12)均貫穿機(jī)體(1)設(shè)置,所述進(jìn)水管(11)和出水管(12)均與冷卻水箱相連接,所述機(jī)體(1)的上側(cè)開(kāi)設(shè)有出風(fēng)口(13),所述機(jī)體(1)頂端固定有廢氣凈化箱(14),所述廢氣凈化箱(14)底端與出風(fēng)口(13)相連通,所述廢氣凈化箱(14)內(nèi)部填充有多個(gè)廢氣凈化球(15),所述廢氣凈化箱(14)的頂端連接有排氣管(16)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備,其特征在于:所述廢氣凈化球(15)包括球形濾網(wǎng)(151),所述球形濾網(wǎng)(151)的外壁上固定有多根親水吸附纖維(152),所述球形濾網(wǎng)(151)的內(nèi)部填充有多個(gè)活性炭吸附球(153),且球形濾網(wǎng)(151)的內(nèi)部還填充有活性炭吸附顆粒(154)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備,其特征在于:所述升降桿(2)為升降液壓缸、升降氣缸和電動(dòng)推桿中的一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備,其特征在于:所述冷卻水管(10)、進(jìn)水管(11)和出水管(12)均采用耐高溫導(dǎo)熱材料制成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備,其特征在于:所述廢氣凈化箱(14)與機(jī)體(1)的連接處設(shè)有密封墊。
說(shuō)明書(shū): 一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型涉及電池片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,更具體地說(shuō),涉及一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備。
背景技術(shù)[0002] 在各類(lèi)硅片生產(chǎn)制備過(guò)程中,退火工藝是一個(gè)重要的工藝流程。硅片退火處理,是工藝的一個(gè)環(huán)節(jié),是按一定的程序?qū)杵M(jìn)行升溫、降溫的過(guò)程。硅片中含有氧,氧有吸取
雜質(zhì)的作用,退火時(shí)可以將硅片表面附近的氧,從其表面揮發(fā)脫除,使表面附近的雜質(zhì)數(shù)量
減少,通過(guò)退火工藝可以降低晶硅
芯片體內(nèi)缺陷,獲得更好的半導(dǎo)體芯片質(zhì)量。
[0003] 硅片退火工藝需要用到退火爐,現(xiàn)在使用的絕大部分半導(dǎo)體芯片退火爐,在冷卻時(shí)不能很好的實(shí)現(xiàn)均勻冷卻,導(dǎo)致冷卻時(shí)爐體內(nèi)部溫度不一樣影響電池片的質(zhì)量,且還存
在著嚴(yán)重的氣體外泄而造成的環(huán)境污染問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004] 1.要解決的技術(shù)問(wèn)題[0005] 針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題,本實(shí)用新型的目的在于提供一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備,可以實(shí)現(xiàn)利用風(fēng)冷和水冷兩種冷卻方式進(jìn)行冷卻,且通過(guò)特殊的
喇叭形出風(fēng)孔的設(shè)置,實(shí)現(xiàn)冷空氣的均勻分布,提升冷卻效率,并且出風(fēng)孔和冷卻水管的合
理布置,能夠使風(fēng)冷和水冷有效配合,進(jìn)一步提升凈化效率,另外利用廢氣凈化球顯著的增
大了廢氣與廢氣凈化球的接觸面積,提升廢氣的凈化效率。
[0006] 2.技術(shù)方案[0007] 為解決上述問(wèn)題,本實(shí)用新型采用如下的技術(shù)方案。[0008] 一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備,包括機(jī)體,所述機(jī)體的內(nèi)底部固定有多個(gè)升降桿,所述升降桿的升降輸出端固定有退火處理托盤(pán),所述退火處理托盤(pán)上固
定有兩組電動(dòng)輸送滑軌,所述機(jī)體內(nèi)部固定有多個(gè)均勻分布的加熱單元,所述機(jī)體的外壁
上固定有鼓風(fēng)機(jī),所述鼓風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口連接有輸氣管,所述退火處理托盤(pán)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有空
腔,所述輸氣管與空腔內(nèi)部相連通,所述退火處理托盤(pán)的上表面開(kāi)設(shè)有多個(gè)均勻分布的出
風(fēng)孔,所述出風(fēng)孔為喇叭形結(jié)構(gòu),所述退火處理托盤(pán)的上側(cè)設(shè)有冷卻水管,且冷卻水管與出
風(fēng)孔對(duì)應(yīng)設(shè)置,所述冷卻水管通過(guò)U形緊固件固定在機(jī)體內(nèi)壁上,所述冷卻水管的兩端分別
連接有進(jìn)水管和出水管,所述進(jìn)水管和出水管均貫穿機(jī)體設(shè)置,所述進(jìn)水管和出水管均與
冷卻水箱相連接,所述機(jī)體的上側(cè)開(kāi)設(shè)有出風(fēng)口,所述機(jī)體頂端固定有廢氣凈化箱,所述廢
氣凈化箱底端與出風(fēng)口相連通,所述廢氣凈化箱內(nèi)部填充有多個(gè)廢氣凈化球,所述廢氣凈
化箱的頂端連接有排氣管。本方案可以實(shí)現(xiàn)利用風(fēng)冷和水冷兩種冷卻方式進(jìn)行冷卻,且通
過(guò)特殊的喇叭形出風(fēng)孔的設(shè)置,實(shí)現(xiàn)冷空氣的均勻分布,提升冷卻效率,并且出風(fēng)孔和冷卻
水管的合理布置,能夠使風(fēng)冷和水冷有效配合,進(jìn)一步提升凈化效率,另外利用廢氣凈化球
顯著的增大了廢氣與廢氣凈化球的接觸面積,提升廢氣的凈化效率。
[0009] 進(jìn)一步的,所述廢氣凈化球包括球形濾網(wǎng),所述球形濾網(wǎng)的外壁上固定有多根親水吸附纖維,所述球形濾網(wǎng)的內(nèi)部填充有多個(gè)活性炭吸附球,且球形濾網(wǎng)的內(nèi)部還填充有
活性炭吸附顆粒。利用設(shè)置的親水吸附纖維可吸附濕氣,吸附濕氣后的親水吸附纖維具有
較強(qiáng)的粉塵吸附能力,利用親水吸附纖維吸附顆粒較大的雜質(zhì),并利用設(shè)置的活性炭吸附
球和活性炭吸附顆粒對(duì)廢氣中的小顆粒雜質(zhì)和有毒有害氣體進(jìn)行吸附,球形結(jié)構(gòu)顯著的提
升了吸附面積,提升了對(duì)退火處理廢氣的凈化效果。
[0010] 進(jìn)一步的,所述升降桿為升降液壓缸、升降氣缸和電動(dòng)推桿中的一種,能夠方便的對(duì)退火處理托盤(pán)進(jìn)行升降調(diào)節(jié),滿足不同情況下的使用需求。
[0011] 進(jìn)一步的,所述冷卻水管、進(jìn)水管和出水管均采用耐高溫導(dǎo)熱材料制成,提升水冷效果,延長(zhǎng)使用壽命。
[0012] 進(jìn)一步的,所述廢氣凈化箱與機(jī)體的連接處設(shè)有密封墊,保證廢氣凈化箱與機(jī)體連接處的密封性,避免廢氣泄露。
[0013] 3.有益效果[0014] 相比于現(xiàn)有技術(shù),本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:[0015] (1)本方案可以實(shí)現(xiàn)利用風(fēng)冷和水冷兩種冷卻方式進(jìn)行冷卻,且通過(guò)特殊的喇叭形出風(fēng)孔的設(shè)置,實(shí)現(xiàn)冷空氣的均勻分布,提升冷卻效率,并且出風(fēng)孔和冷卻水管的合理布
置,能夠使風(fēng)冷和水冷有效配合,進(jìn)一步提升凈化效率,另外利用廢氣凈化球顯著的增大了
廢氣與廢氣凈化球的接觸面積,提升廢氣的凈化效率。
[0016] (2)利用設(shè)置的親水吸附纖維可吸附濕氣,吸附濕氣后的親水吸附纖維具有較強(qiáng)的粉塵吸附能力,利用親水吸附纖維吸附顆粒較大的雜質(zhì),并利用設(shè)置的活性炭吸附球和
活性炭吸附顆粒對(duì)廢氣中的小顆粒雜質(zhì)和有毒有害氣體進(jìn)行吸附,球形結(jié)構(gòu)顯著的提升了
吸附面積,提升了對(duì)退火處理廢氣的凈化效果。
[0017] (3)升降桿為升降液壓缸、升降氣缸和電動(dòng)推桿中的一種,能夠方便的對(duì)退火處理托盤(pán)進(jìn)行升降調(diào)節(jié),滿足不同情況下的使用需求。
[0018] (4)冷卻水管、進(jìn)水管和出水管均采用耐高溫導(dǎo)熱材料制成,提升水冷效果,延長(zhǎng)使用壽命。
[0019] (5)廢氣凈化箱與機(jī)體的連接處設(shè)有密封墊,保證廢氣凈化箱與機(jī)體連接處的密封性,避免廢氣泄露。
附圖說(shuō)明[0020] 圖1為本實(shí)用新型的正視圖;[0021] 圖2為圖1中A處的放大結(jié)構(gòu)示意圖;[0022] 圖3為本實(shí)用新型中廢氣凈化球的結(jié)構(gòu)示意圖;[0023] 圖4為本實(shí)用新型中退火處理托盤(pán)的俯視圖。[0024] 圖中標(biāo)號(hào)說(shuō)明:[0025] 1機(jī)體、2升降桿、3退火處理托盤(pán)、4電動(dòng)輸送滑軌、5加熱單元、6鼓風(fēng)機(jī)、7輸氣管、8空腔、9出風(fēng)孔、10冷卻水管、11進(jìn)水管、12出水管、13出風(fēng)口、14廢氣凈化箱、15廢氣凈化球、
151球形濾網(wǎng)、152親水吸附纖維、153活性炭吸附球、154活性炭吸附顆粒、16排氣管。
具體實(shí)施方式[0026] 下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖;對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述;顯然;所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例;而不是全部的
實(shí)施例,基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例;本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下
所獲得的所有其他實(shí)施例;都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0027] 在本實(shí)用新型的描述中,需要說(shuō)明的是,術(shù)語(yǔ)“上”、“下”、“內(nèi)”、“外”、“頂/底端”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本實(shí)用新型
和簡(jiǎn)化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)
造和操作,因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外,術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目
的,而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。
[0028] 在本實(shí)用新型的描述中,需要說(shuō)明的是,除非另有明確的規(guī)定和限定,術(shù)語(yǔ)“安裝”、“設(shè)置有”、“套設(shè)/接”、“連接”等,應(yīng)做廣義理解,例如“連接”,可以是固定連接,也可以
是可拆卸連接,或一體地連接;可以是機(jī)械連接,也可以是電連接;可以是直接相連,也可以
通過(guò)中間媒介間接相連,可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可
以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。
[0029] 實(shí)施例1:[0030] 請(qǐng)參閱圖1?2和圖4,一種雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備,包括機(jī)體1,機(jī)體1的內(nèi)底部固定有多個(gè)升降桿2,升降桿2的升降輸出端固定有退火處理托盤(pán)3,退火處
理托盤(pán)3上固定有兩組電動(dòng)輸送滑軌4,電動(dòng)輸送滑軌4為現(xiàn)有技術(shù),在此不再贅述,機(jī)體1內(nèi)
部固定有多個(gè)均勻分布的加熱單元5,機(jī)體1的外壁上固定有鼓風(fēng)機(jī)6,鼓風(fēng)機(jī)6的出風(fēng)口連
接有輸氣管7,退火處理托盤(pán)3的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有空腔8,輸氣管7與空腔8內(nèi)部相連通,退火處理
托盤(pán)3的上表面開(kāi)設(shè)有多個(gè)均勻分布的出風(fēng)孔9,出風(fēng)孔9為喇叭形結(jié)構(gòu),退火處理托盤(pán)3的
上側(cè)設(shè)有冷卻水管10,且冷卻水管10與出風(fēng)孔9對(duì)應(yīng)設(shè)置,冷卻水管10通過(guò)U形緊固件固定
在機(jī)體1內(nèi)壁上,冷卻水管10的兩端分別連接有進(jìn)水管11和出水管12,進(jìn)水管11和出水管12
均貫穿機(jī)體1設(shè)置,進(jìn)水管11和出水管12均與冷卻水箱相連接,機(jī)體1的上側(cè)開(kāi)設(shè)有出風(fēng)口
13,機(jī)體1頂端固定有廢氣凈化箱14,廢氣凈化箱14底端與出風(fēng)口13相連通,廢氣凈化箱14
內(nèi)部填充有多個(gè)廢氣凈化球15,廢氣凈化箱14的頂端連接有排氣管16。使用設(shè)備時(shí),電動(dòng)輸
送滑軌4用于對(duì)硅片進(jìn)行輸送,在輸送過(guò)程中,加熱單元5工作對(duì)硅片進(jìn)行熱處理,當(dāng)需要進(jìn)
行冷卻時(shí),啟動(dòng)鼓風(fēng)機(jī)6工作,冷風(fēng)進(jìn)入空腔8內(nèi)部并由出風(fēng)孔9吹出,出風(fēng)孔9為外粗內(nèi)細(xì)的
喇叭形結(jié)構(gòu),冷風(fēng)經(jīng)過(guò)出風(fēng)孔9時(shí)會(huì)呈扇形擴(kuò)散,使出風(fēng)孔9在機(jī)體1內(nèi)部充分?jǐn)U散,提升冷
卻的均勻性,從而有效提升冷卻效率,同時(shí)冷卻水管10內(nèi)部流動(dòng)的循環(huán)冷卻水進(jìn)行冷卻,提
升冷卻效率,并且由出風(fēng)孔9吹出的風(fēng)還可對(duì)冷卻水管10進(jìn)行冷卻降溫,進(jìn)一步提升冷卻效
率,退火處理過(guò)程中產(chǎn)生的廢氣由出風(fēng)口13排出進(jìn)入廢氣凈化箱14內(nèi)部,利用設(shè)置的廢氣
凈化球15對(duì)廢氣進(jìn)行有效凈化,由于廢氣凈化球15為球形結(jié)構(gòu),且多個(gè)廢氣凈化球15堆積
設(shè)置,顯著的增大了廢氣與廢氣凈化球15的接觸面積,提升凈化效率。
[0031] 本方案可以實(shí)現(xiàn)利用風(fēng)冷和水冷兩種冷卻方式進(jìn)行冷卻,且通過(guò)特殊的喇叭形出風(fēng)孔9的設(shè)置,實(shí)現(xiàn)冷空氣的均勻分布,提升冷卻效率,并且出風(fēng)孔9和冷卻水管10的合理布
置,能夠使風(fēng)冷和水冷有效配合,進(jìn)一步提升凈化效率,另外利用廢氣凈化球15顯著的增大
了廢氣與廢氣凈化球15的接觸面積,提升廢氣的凈化效率。
[0032] 請(qǐng)參閱圖1和圖3,廢氣凈化球15包括球形濾網(wǎng)151,球形濾網(wǎng)151的外壁上固定有多根親水吸附纖維152,球形濾網(wǎng)151的內(nèi)部填充有多個(gè)活性炭吸附球153,且球形濾網(wǎng)151
的內(nèi)部還填充有活性炭吸附顆粒154。利用設(shè)置的親水吸附纖維152可吸附濕氣,吸附濕氣
后的親水吸附纖維152具有較強(qiáng)的粉塵吸附能力,利用親水吸附纖維152吸附顆粒較大的雜
質(zhì),并利用設(shè)置的活性炭吸附球153和活性炭吸附顆粒154對(duì)廢氣中的小顆粒雜質(zhì)和有毒有
害氣體進(jìn)行吸附,球形結(jié)構(gòu)顯著的提升了吸附面積,提升了對(duì)退火處理廢氣的凈化效果。
[0033] 請(qǐng)參閱圖1,升降桿2為升降液壓缸、升降氣缸和電動(dòng)推桿中的一種,能夠方便的對(duì)退火處理托盤(pán)3進(jìn)行升降調(diào)節(jié),滿足不同情況下的使用需求。
[0034] 請(qǐng)參閱圖1,冷卻水管10、進(jìn)水管11和出水管12均采用耐高溫導(dǎo)熱材料制成,提升水冷效果,延長(zhǎng)使用壽命。
[0035] 請(qǐng)參閱圖1,廢氣凈化箱14與機(jī)體1的連接處設(shè)有密封墊,保證廢氣凈化箱14與機(jī)體1連接處的密封性,避免廢氣泄露。
[0036] 以上所述;僅為本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式;但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此;任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi);根據(jù)本實(shí)用
新型的技術(shù)方案及其改進(jìn)構(gòu)思加以等同替換或改變;都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍
內(nèi)。
聲明:
“雙軌高產(chǎn)能晶硅電池片抗光衰退火爐設(shè)備” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)