權(quán)利要求書： 1.一種高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其特征在于，包括發(fā)射X光射線的X光管、將所述X光管聚焦的毛細(xì)管組件，和將所述毛細(xì)管組件與所述X光管出X光口進(jìn)行裝配的安裝支架；所述毛細(xì)管組件包括光纖管，所述光纖管內(nèi)設(shè)置有豎直的主導(dǎo)光孔和圍繞其設(shè)置的多個(gè)毛細(xì)導(dǎo)光孔；所述毛細(xì)導(dǎo)光孔包括與所述主導(dǎo)光孔平行的平行段，和與所述平行段連通的向所述主導(dǎo)光孔折彎的折彎段；所述安裝支架包括安裝所述毛細(xì)管組件的安裝柱，和將所述安裝柱與所述出X光口進(jìn)行裝配的調(diào)節(jié)套；所述安裝柱內(nèi)設(shè)置有與所述毛細(xì)管組件外形匹配的第一通孔，外側(cè)表面上端設(shè)置有環(huán)形凸緣；所述調(diào)節(jié)套上設(shè)置有與所述出X光口配合的第一凹槽，所述第一凹槽內(nèi)壁與所述出X光口存在間隙；所述第一凹槽底部設(shè)置有與所述環(huán)形凸緣配合的第二凹槽，所述第二凹槽底部設(shè)置有與所述安裝柱匹配的第二通孔；所述調(diào)節(jié)套上設(shè)置有調(diào)節(jié)所述安裝柱水平位移的調(diào)節(jié)件；

所述X光管下表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有至少三個(gè)圍繞所述調(diào)節(jié)套均勻分布的調(diào)節(jié)桿；所述調(diào)節(jié)桿包括連接桿和調(diào)節(jié)凸輪；所述連接桿一端與所述調(diào)節(jié)凸輪固定連接，另一端與所述X光管下表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接且端部設(shè)置有縱向活動(dòng)槽，所述活動(dòng)槽兩端均與所述連接桿側(cè)表面連通；

所述調(diào)節(jié)桿內(nèi)設(shè)置有與所述活動(dòng)槽連通的第三通孔；所述調(diào)節(jié)凸輪上設(shè)置有與所述第三通孔連通的第四通孔；還包括螺桿和與所述螺桿配合的螺母；所述螺桿伸入所述第三通孔和所述第四通孔內(nèi)，且端部設(shè)置有與所述活動(dòng)槽配合的橫桿；所述調(diào)節(jié)套外側(cè)表面設(shè)置有環(huán)形側(cè)翼，所述側(cè)翼上設(shè)置有與所述連接桿對(duì)應(yīng)的調(diào)節(jié)孔，所述調(diào)節(jié)孔孔徑小于所述調(diào)節(jié)凸輪的最小寬度，大于所述連接桿外徑；所述調(diào)節(jié)件包括與所述調(diào)節(jié)凸輪配合的調(diào)節(jié)擋板，所述調(diào)節(jié)擋板位于所述調(diào)節(jié)凸輪和所述調(diào)節(jié)套之間；所述調(diào)節(jié)擋板朝向所述調(diào)節(jié)凸輪一側(cè)表面設(shè)置有與其配合的弧形調(diào)節(jié)槽。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其特征在于，所述高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀還包括樣品載料臺(tái)，所述樣品載料臺(tái)上設(shè)置有放置樣品的放置板和調(diào)節(jié)所述放置板移動(dòng)的XYZ移動(dòng)平臺(tái)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其特征在于，所述高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀還包括主控板、為所述X光管提供電壓的高壓電源和控制所述XYZ移動(dòng)平臺(tái)的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)組件；所述高壓電源和所述馬達(dá)驅(qū)動(dòng)組件均與所述主控板電連接并受其控制。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其特征在于，所述調(diào)節(jié)件包括四個(gè)中心距調(diào)節(jié)螺栓；所述第一凹槽內(nèi)壁設(shè)置有四個(gè)與所述中心距調(diào)節(jié)螺栓一一對(duì)應(yīng)的螺絲孔，所述螺絲孔與所述調(diào)節(jié)套外側(cè)表面連通；四個(gè)所述螺絲孔呈十字型分布。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其特征在于，所述橫桿兩端下表面均設(shè)置有第一硅膠墊片，所述第一硅膠墊片下表面設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)弧面型槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其特征在于，所述側(cè)翼上表面設(shè)置有與所述第一硅膠墊片對(duì)應(yīng)的第二硅膠墊片。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其特征在于，所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有與所述調(diào)節(jié)凸輪阻尼配合的第三硅膠片。

8.根據(jù)權(quán)利要求1?7任一所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其特征在于，所述主導(dǎo)光孔和/或所述毛細(xì)導(dǎo)光孔內(nèi)通過(guò)凝膠技術(shù)設(shè)置有鍍膜。

說(shuō)明書： 一種高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本發(fā)明涉及X射線測(cè)厚儀電鏡技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀。

背景技術(shù)[0002] X射線測(cè)厚儀是利用X射線穿透被測(cè)材料時(shí)，X射線的強(qiáng)度變化與材料的厚度相關(guān)的特性來(lái)檢測(cè)材料厚度的一種非接觸式計(jì)量?jī)x器；

[0003] X射線測(cè)厚儀在分析微小的樣品點(diǎn)時(shí)，需要對(duì)其中X光管射出的X光線進(jìn)行聚焦以獲得較小的光斑和較高的亮度，目前常規(guī)的光學(xué)聚焦鏡應(yīng)用在此種情況下效果不理想。

發(fā)明內(nèi)容[0004] 本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀。

[0005] 本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：[0006] 構(gòu)造一種高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其中，包括發(fā)射X光射線的X光管、將所述X光管聚焦的毛細(xì)管組件，和將所述毛細(xì)管組件與所述X光管出X光口進(jìn)行裝配的安裝支架；所

述毛細(xì)管組件包括光纖管，所述光纖管內(nèi)設(shè)置有豎直的主導(dǎo)光孔和圍繞其設(shè)置的多個(gè)毛細(xì)

導(dǎo)光孔；所述毛細(xì)導(dǎo)光孔包括與所述主導(dǎo)光孔平行的平行段，和與所述平行段連通的向所

述主導(dǎo)光孔折彎的折彎段。

[0007] 本發(fā)明所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其中，所述高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀還包括樣品載料臺(tái)，所述樣品載料臺(tái)上設(shè)置有放置樣品的放置板和調(diào)節(jié)所述放置板移動(dòng)的

XYZ移動(dòng)平臺(tái)。

[0008] 本發(fā)明所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其中，所述高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀還包括主控板、為所述X光管提供電壓的高壓電源和控制所述XYZ移動(dòng)平臺(tái)的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)組

件；所述高壓電源和所述馬達(dá)驅(qū)動(dòng)組件均與所述主控板電連接并受其控制。

[0009] 本發(fā)明所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其中，所述安裝支架包括安裝所述毛細(xì)管組件的安裝柱，和將所述安裝柱與所述出X光口進(jìn)行裝配的調(diào)節(jié)套；所述安裝柱內(nèi)設(shè)置有

與所述毛細(xì)管組件外形匹配的第一通孔，外側(cè)表面上端設(shè)置有環(huán)形凸緣；所述調(diào)節(jié)套上設(shè)

置有與所述出X光口配合的第一凹槽，所述第一凹槽內(nèi)壁與所述出X口存在間隙；所述第一

凹槽底部設(shè)置有與所述環(huán)形凸緣配合的第二凹槽，所述第二凹槽底部設(shè)置有與所述安裝柱

匹配的第二通孔；所述調(diào)節(jié)套上設(shè)置有調(diào)節(jié)所述安裝柱水平位移的調(diào)節(jié)件。

[0010] 本發(fā)明所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其中，所述調(diào)節(jié)件包括四個(gè)中心距調(diào)節(jié)螺栓；所述第一凹槽內(nèi)壁設(shè)置有四個(gè)與所述中心距調(diào)節(jié)螺栓一一對(duì)應(yīng)的螺絲孔，所述螺絲

孔與所述調(diào)節(jié)套外側(cè)表面連通；四個(gè)所述螺絲孔呈十字型分布。

[0011] 本發(fā)明所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其中，所述X光管下表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有至少三個(gè)圍繞所述調(diào)節(jié)套均勻分布的調(diào)節(jié)桿；所述調(diào)節(jié)桿包括連接桿和調(diào)節(jié)凸輪；所述連接

桿一端與所述調(diào)節(jié)凸輪固定連接，另一端與所述X光管下表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接且端部設(shè)置有縱向

活動(dòng)槽，所述活動(dòng)槽兩端均與所述連接桿側(cè)表面連通；所述調(diào)節(jié)桿內(nèi)設(shè)置有與所述活動(dòng)槽

連通的第三通孔；所述調(diào)節(jié)凸輪上設(shè)置有與所述第三通孔連通的第四通孔；還包括螺桿和

與所述螺桿配合的螺母；所述螺桿伸入所述第三通孔和所述第四通孔內(nèi)，且端部設(shè)置有與

所述活動(dòng)槽配合的橫桿；所述調(diào)節(jié)套外側(cè)表面設(shè)置有環(huán)形側(cè)翼，所述側(cè)翼上設(shè)置有與所述

連接桿對(duì)應(yīng)的調(diào)節(jié)孔，所述調(diào)節(jié)孔孔徑小于所述調(diào)節(jié)凸輪的最小寬度，大于所述連接桿外

徑；所述調(diào)節(jié)件包括與所述調(diào)節(jié)凸輪配合的調(diào)節(jié)擋板，所述調(diào)節(jié)擋板位于所述調(diào)節(jié)凸輪和

所述調(diào)節(jié)套之間；所述調(diào)節(jié)擋板朝向所述調(diào)節(jié)凸輪一側(cè)表面設(shè)置有與其配合的弧形調(diào)節(jié)

槽。

[0012] 本發(fā)明所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其中，所述橫桿兩端下表面均設(shè)置有第一硅膠墊片，所述第一硅膠墊片下表面設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)弧面型槽。

[0013] 本發(fā)明所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其中，所述側(cè)翼上表面設(shè)置有與所述第一硅膠墊片對(duì)應(yīng)的第二硅膠墊片。

[0014] 本發(fā)明所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其中，所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有與所述調(diào)節(jié)凸輪阻尼配合的第三硅膠片。

[0015] 本發(fā)明所述的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀，其中，所述主導(dǎo)光孔和/或所述毛細(xì)導(dǎo)光孔內(nèi)通過(guò)凝膠技術(shù)設(shè)置有鍍膜。

[0016] 本發(fā)明的有益效果在于：通過(guò)安裝支架將毛細(xì)管組件與X光管的出X光口進(jìn)行裝配，X光管發(fā)出的雜亂X光進(jìn)入主導(dǎo)光孔和多個(gè)毛細(xì)導(dǎo)光孔內(nèi)，進(jìn)入毛細(xì)導(dǎo)光孔的X光經(jīng)過(guò)平

行段后在折彎段的導(dǎo)向下朝主導(dǎo)光孔方向匯聚，實(shí)現(xiàn)聚焦，使得光通量增益大大增加，在分

析微小的樣品點(diǎn)時(shí)，在保證分析精度的同時(shí)大大減少了分析時(shí)間，且結(jié)構(gòu)十分簡(jiǎn)潔，裝配方

便，體積小。

附圖說(shuō)明[0017] 為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的部分實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域

普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖：

[0018] 圖1是本發(fā)明較佳實(shí)施例的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀結(jié)構(gòu)示意圖；[0019] 圖2是本發(fā)明較佳實(shí)施例的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀原理框圖；[0020] 圖3是本發(fā)明較佳實(shí)施例的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀毛細(xì)管組件裝配示意圖；[0021] 圖4是本發(fā)明較佳實(shí)施例的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀毛細(xì)管組件上端面放大圖；[0022] 圖5是本發(fā)明較佳實(shí)施例的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀毛細(xì)管組件光路圖；[0023] 圖6是本發(fā)明另一較佳實(shí)施例的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀毛細(xì)管組件裝配示意圖；

[0024] 圖7是本發(fā)明另一較佳實(shí)施例的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀調(diào)節(jié)桿側(cè)視圖；[0025] 圖8是本發(fā)明另一較佳實(shí)施例的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀調(diào)節(jié)凸輪與調(diào)節(jié)擋板結(jié)構(gòu)示意圖；

[0026] 圖9是本發(fā)明另一較佳實(shí)施例的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀第一硅膠墊片結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式[0027] 為了使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整的描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明的部分實(shí)施例，而

不是全部實(shí)施例?；诒景l(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前

提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。

[0028] 本發(fā)明較佳實(shí)施例的高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀如圖1所示，同時(shí)參閱圖2?9，包括發(fā)射X光射線的X光管1、將X光管1聚焦的毛細(xì)管組件2，和將毛細(xì)管組件2與X光管1出X光口

10進(jìn)行裝配的安裝支架3；毛細(xì)管組件2包括光纖管20，光纖管20內(nèi)設(shè)置有豎直的主導(dǎo)光孔

21和圍繞其設(shè)置的多個(gè)毛細(xì)導(dǎo)光孔22；毛細(xì)導(dǎo)光孔22包括與主導(dǎo)光孔21平行的平行段220，

和與平行段220連通的向主導(dǎo)光孔21折彎的折彎段221；通過(guò)安裝支架3將毛細(xì)管組件2與X

光管1的出X光口10進(jìn)行裝配，X光管1發(fā)出的雜亂X光進(jìn)入主導(dǎo)光孔21和多個(gè)毛細(xì)導(dǎo)光孔22

內(nèi)，進(jìn)入毛細(xì)導(dǎo)光孔22的X光經(jīng)過(guò)平行段220后在折彎段221的導(dǎo)向下朝主導(dǎo)光孔21方向匯

聚，實(shí)現(xiàn)聚焦，使得光通量增益大大增加，在分析微小的樣品點(diǎn)時(shí)，在保證分析精度的同時(shí)

大大減少了分析時(shí)間，且結(jié)構(gòu)十分簡(jiǎn)潔，裝配方便，體積小。

[0029] 如圖1和圖2所示，高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀還包括樣品載料臺(tái)4，樣品載料臺(tái)4上設(shè)置有放置樣品5的放置板40和調(diào)節(jié)放置板40移動(dòng)的XYZ移動(dòng)平臺(tái)41；便于調(diào)節(jié)樣品位置以

檢測(cè)同一樣品上不同點(diǎn)的厚度，也便于對(duì)不同厚度樣品進(jìn)行適應(yīng)性調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)方便。

[0030] 如圖1和圖2所示，高性能微焦點(diǎn)X射線測(cè)厚儀還包括主控板6、為X光管1提供電壓的高壓電源7和控制XYZ移動(dòng)平臺(tái)41的馬達(dá)驅(qū)動(dòng)組件8；高壓電源7和馬達(dá)驅(qū)動(dòng)組件8均與主

控板6電連接并受其控制；便于對(duì)X光管1以及XYZ移動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行綜合調(diào)節(jié)控制。

[0031] 如圖1和圖3所示，安裝支架3包括安裝毛細(xì)管組件2的安裝柱30，和將安裝柱30與出X光口10進(jìn)行裝配的調(diào)節(jié)套31；安裝柱30內(nèi)設(shè)置有與毛細(xì)管組件2外形匹配的第一通孔

300，外側(cè)表面上端設(shè)置有環(huán)形凸緣301；調(diào)節(jié)套31上設(shè)置有與出X光口10配合的第一凹槽

310，第一凹槽310內(nèi)壁與出X口10存在間隙；第一凹槽310底部設(shè)置有與環(huán)形凸緣301配合的

第二凹槽311，第二凹槽311底部設(shè)置有與安裝柱30匹配的第二通孔312；調(diào)節(jié)套31上設(shè)置有

調(diào)節(jié)安裝柱30水平位移的調(diào)節(jié)件；裝配時(shí)，先將毛細(xì)管組件裝配到與其形狀匹配的第一通

孔300內(nèi)，而后在通過(guò)調(diào)節(jié)件調(diào)試安裝柱30的水平位置到合適輸出位置并固定，即完成裝

配，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔且穩(wěn)定性好，裝配方便，成本低；

[0032] 需要說(shuō)明的是，毛細(xì)管組件2以及第一通孔300形狀優(yōu)選的上部為圓柱形，下部為圓錐形。

[0033] 如圖1和圖3所示，調(diào)節(jié)件包括四個(gè)中心距調(diào)節(jié)螺栓313；第一凹槽310內(nèi)壁設(shè)置有四個(gè)與中心距調(diào)節(jié)螺栓313一一對(duì)應(yīng)的螺絲孔314，螺絲孔314與調(diào)節(jié)套31外側(cè)表面連通；四

個(gè)螺絲孔314呈十字型分布；通過(guò)調(diào)節(jié)四個(gè)方向的中心距調(diào)節(jié)螺栓313，即可對(duì)安裝柱30進(jìn)

行平面360度角度的調(diào)節(jié)，進(jìn)而對(duì)毛細(xì)管組件2進(jìn)行調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)方便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。

[0034] 本申請(qǐng)另一種毛細(xì)管組件的安裝方式，如圖6?9所示，X光管1下表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接有至少三個(gè)圍繞調(diào)節(jié)套均勻分布的調(diào)節(jié)桿11；調(diào)節(jié)桿11包括連接桿110和調(diào)節(jié)凸輪111；連接桿

110一端與調(diào)節(jié)凸輪111固定連接，另一端與X光管1下表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接且端部設(shè)置有縱向活動(dòng)

槽112，活動(dòng)槽112兩端均與連接桿110側(cè)表面連通；調(diào)節(jié)桿11內(nèi)設(shè)置有與活動(dòng)槽112連通的

第三通孔113；調(diào)節(jié)凸輪111上設(shè)置有與第三通孔113連通的第四通孔114；還包括螺桿115和

與螺桿115配合的螺母116；螺桿115伸入第三通孔113和第四通孔114內(nèi)，且端部設(shè)置有與活

動(dòng)槽112配合的橫桿117；調(diào)節(jié)套31外側(cè)表面設(shè)置有環(huán)形側(cè)翼315，側(cè)翼315上設(shè)置有與連接

桿110對(duì)應(yīng)的調(diào)節(jié)孔316，調(diào)節(jié)孔316孔徑小于調(diào)節(jié)凸輪111的最小寬度，大于連接桿110外

徑；調(diào)節(jié)件包括與調(diào)節(jié)凸輪111配合的調(diào)節(jié)擋板317，調(diào)節(jié)擋板317位于調(diào)節(jié)凸輪111和調(diào)節(jié)

套31之間；調(diào)節(jié)擋板317朝向調(diào)節(jié)凸輪111一側(cè)表面設(shè)置有與其配合的弧形調(diào)節(jié)槽318；

[0035] 通過(guò)至少三個(gè)與X光管下表面轉(zhuǎn)動(dòng)連接的調(diào)節(jié)桿11，連接桿110穿過(guò)側(cè)翼315上的調(diào)節(jié)孔316，調(diào)節(jié)凸輪111對(duì)側(cè)翼315下表面進(jìn)行支撐，保證調(diào)節(jié)時(shí)調(diào)節(jié)套31保持水平；調(diào)節(jié)

時(shí)，通過(guò)反復(fù)移動(dòng)調(diào)節(jié)套31水平面位置，調(diào)試到一個(gè)位置后依靠調(diào)節(jié)凸輪111的支撐進(jìn)行檢

測(cè)是否到位，反復(fù)調(diào)節(jié)至位置調(diào)節(jié)到位，而后旋動(dòng)調(diào)節(jié)凸輪111抵緊側(cè)翼315上的調(diào)節(jié)擋板

317，限制調(diào)節(jié)套31進(jìn)行水平面上的移動(dòng)，而后，旋轉(zhuǎn)螺母116使得調(diào)節(jié)凸輪111和橫桿117夾

緊側(cè)翼315進(jìn)行鎖緊，調(diào)試十分方便，且不會(huì)出現(xiàn)調(diào)節(jié)套31縱向移位風(fēng)險(xiǎn)，大大節(jié)約了調(diào)試

和重復(fù)調(diào)試時(shí)間。

[0036] 如圖6?9所示，橫桿117兩端下表面均設(shè)置有第一硅膠墊片118，第一硅膠墊片118下表面設(shè)置有一個(gè)或多個(gè)弧面型槽119；便于在橫桿117和調(diào)節(jié)凸輪111配合夾緊側(cè)翼315

時(shí)，第一硅膠墊片118變形擠出弧面型槽119內(nèi)全部或部分空氣，保證夾持定位時(shí)的可靠性；

此外還起到減振功能。

[0037] 如圖6所示，側(cè)翼315上表面設(shè)置有與第一硅膠墊片118對(duì)應(yīng)的第二硅膠墊片319；進(jìn)一步減小振動(dòng)。

[0038] 如圖6所示，調(diào)節(jié)槽319內(nèi)設(shè)置有與調(diào)節(jié)凸輪111阻尼配合的第三硅膠片320；便于保持調(diào)節(jié)凸輪111與調(diào)節(jié)槽319抵緊定位效果，同時(shí)起到減少水平方向的振動(dòng)。

[0039] 如圖1、圖4、圖5所示，主導(dǎo)光孔21和/或毛細(xì)導(dǎo)光孔22內(nèi)通過(guò)凝膠技術(shù)設(shè)置有鍍膜200；便于保障整體的機(jī)械強(qiáng)度，且該鍍膜200能和主導(dǎo)光孔以及毛細(xì)導(dǎo)光孔22內(nèi)的X光波發(fā)

生作用，使得光波束縛在孔內(nèi)，最終完成匯聚；

[0040] 優(yōu)選的，光纖管采用石英制成；[0041] 優(yōu)選的，主導(dǎo)光孔21內(nèi)設(shè)置有光纖內(nèi)芯；保障主導(dǎo)光孔21內(nèi)光傳輸效果；[0042] 優(yōu)選的，主導(dǎo)光孔21與所有毛細(xì)導(dǎo)光孔22整體輪廓呈孔狀且直徑尺寸與X光波長(zhǎng)相近：0.07?0.025nm；保障X光在進(jìn)入后順利進(jìn)行全反射運(yùn)動(dòng)。

[0043] 應(yīng)當(dāng)理解的是，對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可以根據(jù)上述說(shuō)明加以改進(jìn)或變換，而所有這些改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本發(fā)明所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。