本發(fā)明涉及
稀有金屬和
粉末冶金技術領域,具體涉及一種鉬合金靶材及其制備方法和應用,以質量百分數(shù)計,所述靶材包括10~30%的Ni,5~25%的Ti和0.5~5%的Re,余量為Mo和不可避免的雜質,且Mo的質量百分比≥50%。本發(fā)明在鉬合金中加特定量的錸后,可以細化晶粒尺寸,使晶粒更均勻,降低材料脆性,增加塑韌性,提高變形加工能力,使得到的坯料可以進行軋制工序從而得到不同形狀或大尺寸的靶材,作為靶材制備膜層時膜層厚度更均勻,濺射速度更快。
聲明:
“鉬合金靶材及其制備方法和應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)