本實用新型公開了一種適用于廢氣處理設備的頂蓋降溫裝置,涉及半導體行業(yè)廢氣處理設備技術領域,包括反應腔頂蓋,所述反應腔頂蓋下端設有連接槽,本實用新型結構簡單,制造簡單,實用性高,通過在反應腔頂蓋和反應腔腔體之間設計一個隔熱棉,使得反應腔頂蓋和反應腔腔體之間有一個夾層,達到初步隔熱降溫的目的,再通過給反應腔頂蓋通壓縮空氣,壓縮空氣從夾層中間部位流入至反應腔腔體內(nèi),帶走反應腔頂蓋的熱量,從而使反應腔頂蓋溫度降低,解決現(xiàn)有技術中高溫度的反應腔腔體通過熱傳導造成反應腔頂蓋因溫度過高導致的設備器件損壞和對人員的燙傷等危害、存在較大安全隱患的缺陷。
聲明:
“一種適用于廢氣處理設備的頂蓋降溫裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)