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名稱 |
規(guī)格 |
單溫區(qū)真空管式爐CVD系統(tǒng) CVD1200C 440D60 2ZLV |
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單溫區(qū)真空管式爐 |
爐管尺寸 |
Φ60×1000mm 更多其他規(guī)格石英管可選（Φ50/60/80/100mm等） |
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主要參數(shù) |
最高溫度: 1200℃(使用時必須通入惰性氣體以防止爐管發(fā)生形變) 工作溫度: 1100℃ 推薦升溫速率:≤10℃/min 加熱區(qū)長度: 400mm 額定功率：3KW 電壓：單相AC 208 - 240V, 50Hz |
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爐體結構 |
雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C 高純狀氧化鋁纖維絕緣層，最大限度節(jié)約能源 爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命 |
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溫控系統(tǒng) |
模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能 智能化30段可編程控制 具有超溫及斷偶報警功能 控溫精度: ±1 ℃ K型熱電偶 可安裝PC控制軟件對數(shù)據(jù)進行實時采集（需另購） |
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溫控儀表（可選） |
標配儀表品牌為宇電，可指定其他品牌溫控儀表，如島電等。 |
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管堵 |
多種規(guī)格管堵，防止來自內(nèi)部管子的熱輻射，管堵在加熱前必須完全放入爐腔。石英管堵滿足潔凈實驗環(huán)境或者較高真空需求 |
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密封系統(tǒng) |
爐管兩端配有不銹鋼密封法蘭。（包括精密針閥、指針式真空壓力表、軟管接頭） 如需獲得較高的真空度，建議采用不銹鋼波紋管連接及數(shù)顯真空計（需另外訂購） 出氣端配備磁流體密封裝置，容許設備在連續(xù)真空條件下工作。 備注：本公司標配法規(guī)格如下進氣端Φ6卡套接口，可連接Φ6不銹管或者聚四氟管。 出氣端預留KF25接口，方便連接真空泵，KF16接口，方便連接數(shù)顯真空計，以及Φ9氣嘴接頭，以便出氣 |
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擴展端口 |
如進氣管道為橡膠軟管，則需將進氣口更換成Φ9氣嘴接頭 |
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真空度 |
雙極旋片機械泵：10^-1Pa 分子泵機組：10^-3 Pa 可選配本公司配套高低真空 |
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外形尺寸 |
650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H) |
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凈重 |
40Kg |
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二路質(zhì)量流量控制系統(tǒng) MFC-2Z |
電壓 |
220VAC 單相 50/60Hz |
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針閥材質(zhì) |
316不銹鋼 |
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量程 |
50sccm、100sccm（可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇） |
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工作溫度 |
5～45℃ |
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外型尺寸 |
600(L) x 600(W) x 750(H) mm |
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電壓 |
AC220V/50Hz單相 |
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功率 |
23W |
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真空系統(tǒng) LVU-10 |
殼體尺寸 |
600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm |
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最大承載量 |
1000 Lbs |
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抽氣速率 |
10m3/h 極限真空度：10-1Pa 雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì)）與真空泵連接 |
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質(zhì)保期 |
一年保修，終身技術支持。 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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相關應用 |
爐膛內(nèi)襯可以單獨更換（額外付費） 可以根據(jù)要求設計成帶有滑動法蘭的爐子 |
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應用注意事項 |
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） |
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貴州 - 貴陽
2024年10月25日 ~ 27日
