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等離子聚焦離子束系統(tǒng)

等離子聚焦離子束系統(tǒng)

2186
規(guī)格/型號:卡爾蔡司CROSSBEAM350
品牌:暫無
應(yīng)用領(lǐng)域:暫無
產(chǎn)地:北京 - 北京
咨詢電話::暫無(請說明信息源自“中冶有色技術(shù)網(wǎng)”)
更新時間:2022-01-06
級別:已認(rèn)證

等離子聚焦離子束系統(tǒng)說明介紹

簡介 蔡司雙束電鏡CROSSBEAM系列,是專為高通量3D分析和樣品加工制備量身打造的FIB-SEM雙束電鏡。CROSSBEAM系列將場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)鏡筒強(qiáng)大的成像和分析性能與全新一代聚焦離子束(FIB)出色的加工能力相結(jié)合。無論是加工、成像或進(jìn)行3D分析,都能在不損失精度的前提下,提高聚焦離子束的應(yīng)用效率。 工作原理 1,生命科學(xué),如斷層掃描,三維重構(gòu)
2,電池領(lǐng)域,如原子層組分表征
3,半導(dǎo)體領(lǐng)域,如失效分析,電路修復(fù)
4,金屬領(lǐng)域,如界面分析,亞表面分析
5,材料科學(xué),如晶體微觀結(jié)構(gòu)分析,納米圖形化加工
6,透射電鏡、EBSD、微觀力學(xué)等多種樣品的原位制備
7,微納加工 技術(shù)參數(shù)
  • 電子束流5pA100nA
  • 分辨率3nm@30KV
  • 檢測器lens Se、 Inlens esB、可變氣壓二次電子探測器VPSE、二次電子二次離子探測器SESI、掃描透射電子探測器STEM、背散射探測器BSD
選型原則 檢測能力:SEM截面 、TEM制樣 、三維重構(gòu) 應(yīng)用案例 設(shè)備結(jié)構(gòu)     蔡司雙束電鏡CROSSBEAM系列,是專為高通量3D分析和樣品加工制備量身打造的FIB-SEM雙束電鏡。CROSSBEAM系列將場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)鏡筒強(qiáng)大的成像和分析性能與全新一代聚焦離子束(FIB)出色的加工能力相結(jié)合。無論是加工、成像或進(jìn)行3D分析,都能在不損失精度的前提下,提高聚焦離子束的應(yīng)用效率。
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